打破国外垄断！上方自研G8.6代新型显示PVD装备进入生产状态

集微网消息，据浙江在线报道，上方电子自主研发制造的中国首套国产半导体显示核心装备——8.6代新型显示PVD（物理气相沉积）设备，今年上半年顺利交付该显示屏生产企业，最近正式进入生产状态。

上方自主设计并开发的8.6代Array PVD装备，最大玻璃基板尺寸为2250mm×2600mm，采用旋转阴极镀膜技术，可实现薄膜沉积厚度非均匀性80%。装备具有生产工艺先进、性能稳定、操作简单、维护保养成本低等优点。

据了解，PVD设备是用于生产显示面板的高端设备。我国是全球最大的显示屏生产国，但显示屏生产过程中用到的PVD等关键技术设备始终被美国和日本公司垄断。直到2018年，上方电子在国内成功完成8.6代PVD设备（8.5代升级后的产品）的研发，逐步打破这一行业的国外垄断。

上方电子自研的PVD设备从5.5代升级到8.6代，设备的镀膜面积增加了4倍多，涉及的零部件高达1.2万个，需用到物理、机械、机电等六七门交叉学科，在攻克上万个技术难点后，PVD设备实现了功能性纳米薄膜材料在大尺寸玻璃基板上的连续生产，纳米薄膜均匀性在5%以内，材料利用率超过80%，主要指标达到国际先进水平。目前，该设备已获得17项国家发明专利。（校对/小如）