日前,清枫资本正式完成对国内高端半导体光刻胶厂商徐州博康的数千万元投资交割。
资料显示,徐州博康是一家集研发、生产、经营中高端光刻胶、光刻胶单体和光刻胶树脂为主的国家高新技术企业。公司专注于光刻胶原材料到成品的自主研发及生产,实现了从单体、光刻胶专用树脂、光酸剂及终产品光刻胶的国产化自主可控的供应链。
清枫资本消息显示,在半导体光刻胶领域,徐州博康已研发高端ArF光刻胶26款,其中应用于通孔工艺的ArF湿法光刻胶,已经能够应用至40nm/28nm工艺节点,是国内第一款国产化的ArF湿法通孔光刻胶;已研发高端KrF光刻胶30款,其中主要针对lift-off工艺的金属剥离负胶,底部倒角可控,是目前国内唯一可提供此类KrF的产品。
2021年8月,徐州博康发生工商信息变更,新增深圳哈勃为股东,注册资本从7600.95万元增至8445.50万元,增幅11.11%。
2021年末,徐州博康承担了国家“02专项”中的子课题“ArF光刻胶单体产品的开发与产业化”。(文:拓墣产业研究 Arely整理)
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