国产光刻胶突破迫在眉睫！这两家公司获新进展

光刻胶是一种对光敏感的混合液体，其主要作用是通过光化学反应，基于曝光、显影等光工序将所需要刻蚀的细微图形从光罩(掩模版)转移到待加工硅基片上。除了提高加工精度，光刻胶还可以保护硅基材免受腐蚀，阻止离子影响。

光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料，广泛应用于350nm-14nm甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺。

目前，随着国内IC行业的快速发展，自主创新和国产化步伐的加快，以及先进制程工艺的应用，光刻胶的用量大大增加。

目前，我国光刻胶市场被外资企业占据，解决高端材料“卡脖子”问题迫在眉睫。在此背景下，越来越多的国产企业，如彤程新材、南大光电、上海新阳投身其中，加速了高端光刻胶国产化进程。

Source：拍信网

上海新阳：1400光刻机安装调试基本完毕

昨（12）日，上海新阳在投资者互动平台表示，公司与中芯北方搭建的1400光刻机安装调试基本完毕。

上海新阳表示，公司研发费用投入超2亿元，且主要系光刻胶项目研发和参与的国家重大科技项目研发费用。

资料显示，上海新阳是国内知名的半导体材料厂商，形成了拥有完整自主可控知识产权的电子电镀和电子清洗两大核心技术，其开发研制出的140多种电子电镀与电子清洗系列功能性化学材料，产品被广泛应用于集成电路制造、3D-IC先进封装、IC传统封测等领域。

上海新阳迄今承担国家02专项研发项目有：“65-45nm芯片铜互连超高纯电镀液及添加剂研发和产业化”、“20-14nm先导产品工艺开发”项目任务课题“高速自动电镀线研发与产业”项目、“铜互连电镀工艺技术及产品的研发”等。

徐州博康：光刻胶获主流存储芯片厂订单

据华懋科技官方消息，华懋科技旗下徐州博康近期收到某国内主流存储芯片厂商的半导体光刻胶采购订单，此前该产品型号全部依赖于海外进口。

据悉，该产品系徐州博康HTI560系列光刻胶，是基于对羟基苯乙烯聚合物树脂的化学放大型光刻胶。所用原材料包括单体、树脂及光酸100%由博康自主生产，其在客户端的整个测试认证周期近2年，其放量采购标志着徐州博康半导体光刻胶在国内主流12寸晶圆厂获得了正式认可。

此外，考虑到该款产品的适用性很强，博康已经开始积极拓展其他客户，根据不同客户产品工艺特点的不同对该款光刻胶进行微调，最终实现该类产品的商业价值最大化。

资料显示，徐州博康是一家集研发、生产、经营中高端光刻胶、光刻胶单体和光刻胶树脂为主的国家高新技术企业。公司专注于光刻胶原材料到成品的自主研发及生产，实现了从单体、光刻胶专用树脂、光酸剂及终产品光刻胶的国产化自主可控的供应链。

2021年末，徐州博康承担了国家“02专项”中的子课题“ArF光刻胶单体产品的开发与产业化”。（文：拓墣产业研究 Amber）

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