除了迈克尔逊干涉和 Linnik 型干涉外，常见的干涉设计还有以下几种

引言

干涉技术在光学测量、材料表征等众多领域有着不可或缺的地位。迈克尔逊干涉和 Linnik 型干涉是广为人知的干涉设计，除此之外，还有多种经典且实用的干涉设计，它们各自凭借独特的结构与特性，满足不同的测量需求，共同推动干涉技术的发展与应用。

斐索干涉

斐索干涉仪采用分波前法产生干涉，其光路结构相对简单。光源发出的光经过准直后，垂直入射到标准参考镜上，一部分光在参考镜表面反射，另一部分光透过参考镜照射到被测物体表面，从被测物体表面反射的光再次透过参考镜，与参考镜表面反射的光发生干涉。斐索干涉常用于检测光学元件的面形精度，因其测量光束垂直入射，测量结果直接反映被测表面与参考面之间的偏差，在大口径光学镜面检测等场景中发挥重要作用 。

马赫 - 曾德尔干涉

马赫 - 曾德尔干涉仪包含两个分光镜和两个反射镜，构成两条相互独立的光路。光源发出的光经第一个分光镜分为两束，分别沿不同光路传播，一束光经反射镜反射后到达第二个分光镜，另一束光同样经反射镜反射后也到达第二个分光镜，在第二个分光镜处两束光重新汇合产生干涉。该干涉设计可用于研究气体折射率变化、流体力学现象等，通过观察干涉条纹的变化，能精确获取介质物理参数的改变情况。

泰曼 - 格林干涉

泰曼 - 格林干涉仪基于迈克尔逊干涉仪改进而来，以单色激光作为光源。其光路中，激光经扩束准直后，通过分光镜分为参考光束和测量光束，参考光束经反射镜反射，测量光束经被测光学元件后反射，两束光在分光镜处干涉。泰曼 - 格林干涉常用于检测光学系统的波像差，通过分析干涉条纹的形状、疏密等特征，能够准确评估光学系统的成像质量 。

TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪

一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪

1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。

2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。

3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。

实际案例

1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm

2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描

3，卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。