潜心投入忙研发 开足马力抓生产——中科科仪全面复工确保交付成果达到最佳状态

位于海淀区中关村的“硬科技”企业中科科仪公司，积极落实“新十条”联防联控机制，加速树立“每个人都是自己健康的第一责任人”的科学防控意识，适时调整疫情防控应对预案，全面复工复产，助推国产高端科学仪器装备与核心零部件产业化进程。

记者在中科科仪的办公现场看到，研发和生产人员正繁忙有序地进行着半导体行业专用磁悬浮分子泵的开发测试和扫描电镜的装配调试，加快研发和生产节奏，有力有序，复工复产，稳产满产。据悉，“新十条”政策出台后，中科科仪符合条件的人员已经全部到岗，达产率达100%，各项经营活动正常开展。

测试有序进行

记者来到中科科仪总部五层的真空技术研发中心，看到研发人员正在加紧进行半导体行业专用磁悬浮分子泵最后的测试，工艺成熟后，产品将转入分子泵生产线进行大批量生产。

“航空航天、半导体制造、国防科技、科研仪器、大科学工程……凡是需要超高真空环境的行业，都需要用到分子泵，是科学仪器、前沿科学装置和产业装备等不可或缺的核心零部件，而这里正在测试的磁悬浮分子泵是半导体前道工艺装备必不可少的核心零部件。”中科科仪的工作人员告诉记者。

据悉，中科科仪研制出的磁悬浮分子泵，已经批量应用于半导体前道工艺装备，为解决我国科学仪器与高端装备核心零部件受制于人的“卡脖子”问题不断努力。

调试正常开展

随后，记者又来到扫描电镜的调试区域，只见一台台扫描电镜正在总调人员面前进行最后的整机调试，准备将发往全国各地的客户现场。中科科仪的工作人员表示，扫描电镜被列为国家三十五项“卡脖子”技术之一，也被称为科学界的“纳米之眼”。借助扫描电子显微镜，就可以观察到纳米级尺度，观测到病毒、半导体器件的纳米结构等，帮助人类解决微米至纳米尺度的微观形貌观测以及微区成分分析问题，成为前沿科学研究和高端产业的必备工具，在助力高端产业发展方面也发挥着不可或缺的作用。

“它不仅广泛应用于生命科学、航天航空等尖端科学研究，也在新能源、新材料等诸多行业的工艺环节以及环境保护、司法鉴定等领域批量应用，为我国高端产业的发展发挥了重要作用。尤其是在半导体行业的器件检测和晶圆检测等制造环节，均实现批量应用，助力我国半导体产业自主可控。”中科科仪工作人员告诉记者。

保障订单供应

疫情之下，面对历史新高的科学仪器和核心零部件订单需求，企业的创新研发与批量生产都面临重重挑战。记者了解到，在之前的新一代产品磁悬浮分子泵的研制过程中，为早日完成研制和产业化生产交付，中科科仪研发技术与生产团队每天坚持线上开展项目工作会议，留驻公司的技术人员连续数天加班到深夜，全力克服疫情影响，确保交付成果达到最佳状态，最终在疫情期间完成了磁悬浮分子泵的研制和产业化生产任务。

“当前，我们研制的磁悬浮分子泵在刻蚀、离子注入等半导体前道工艺核心制程中已经实现国产化替代，进入国内半导体装备头部企业，并在光伏、锂电等新能源行业实现大批量应用，以高性价比和供应优势实现国产化替代，助力国家双碳经济发展。”中科科仪相关业务负责人表示。

记者：郭思岐

编辑：李京燕

审核：梁树文