这是金属加工(mw1950pub)发布的第12062篇文章
编者按
一颗小小的芯片上布满了密密麻麻的集成电路,其厉害之处就是这些电路微小到我们根本无法想象。而制造它们,“光刻机”是绕不开的终极神器。可以说,没有光刻机就没有芯片。在高端光刻机市场,荷兰ASML的光刻机一家独大,一台光刻机的价格就超过了10亿元。
一起来看看ASML的EVU芯片光刻机工作流程吧。
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接着,我们走进ASML工厂——看看光刻机庐山真面目。
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