跻身世界第二！国产光刻机迎来重大突破，清华教授打破ASML的垄

一直以来，国内高端芯片及相关设备都是处于高度依赖的情况，在接连出现国内科技企业受制于海外技术"封锁"下的困局后，相关话题受到高度关注。

而6月24日，上交所正式受理了北京华卓精科科技股份有限公司科创板上市申请。公司是国产高端光刻机龙头企业上海微电子的双工件台产品及技术开发的供应商，其光刻机双工件台打破了ASML公司在工件台上的技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

光刻机双工件台技术是国产核心装备发展的一大里程碑，不仅是对于国内科学技术的极大推动，同时对外也将冲击国外垄断势力，要知道作为全球最大光刻机制造商ASML已经吞并了全球9成左右的市场份额，但由于技术垄断，全球采购商们也只能花大价钱购入。

而国外业界曾认为，中国人现在不能、未来也不可能造出如此高精密超复杂的光刻机设备。日本尼康株式会社的社长来中国访问时曾说过这么一句话：“光刻机光学系统虽然很难，我相信你们能够研制出来，但工件台恐怕就拿不下来了，因为这个系统太复杂了。”