本土离子注入机生力军稳步前行！万业企业成功实现三季度扭亏为盈

10月29日晚间，本土离子注入机生力军万业企业(600641)披露2024年三季报。本报告期内，公司实现营收1.07亿元，归母净利润实现3913.33万元，单季度实现扭亏为盈。2024年前三季度研发投入达到1.22亿元，相较去年前三季度同比增长3.39%。

离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。此外，还可用于金属材料表面改性和制膜等。

近年来，全球离子注入机市场规模持续增长，预计2030年将达到42亿美元。其中，大束流离子注入机占据较大市场份额，中低束流离子注入机和高能离子注入机也各有其应用领域。

随着中国集成电路产业的快速发展，国内对离子注入机的需求不断增加。国内已有部分企业具备离子注入机的研发和制造能力，并在市场上取得了一定的份额。万业企业旗下的凯世通在离子注入机领域取得了显著成果，其低能大束流离子注入机在国内多家重点晶圆厂担任主力机型。

自2024年起，万业企业持续加大研发投入，增强集成电路产业动能。公司旗下凯世通自2020年突破首台设备订单后，已赢得十余家国内主流晶圆厂客户离子注入机的采购订单，近60台订单数中超过50%为重复订单。此外，凯世通专注于研发多款面向细分领域的离子注入机，形成全系列产品矩阵布局，在全球经济逐步复苏和半导体需求增长的推动下，未来或将迎来更大的市场机遇。

潜“芯”精耕离子注入机领域

近年来，万业企业不断聚焦新生动能，培育切入集成电路产业链。离子注入机可广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、高功率器件和CIS图像传感器等领域，国内市场规模近百亿元，是《国家集成电路产业发展推进纲要》明确要求重点发展的装备，因系统复杂、研发难度和技术门槛极高为国产化最受益环节之一。

公司在集成电路领域持续潜“芯”精耕。万业企业旗下的凯世通精准定位于市场需求最为旺盛、技术壁垒最高且国产替代需求极为迫切的低能大束流离子注入机的研发与产业化。2020年，凯世通成功研发出国内首台低能大束流离子注入机，并顺利交付给国内重点晶圆厂产线，通过了严格的验证与验收流程，率先实现了国产低能大束流离子注入机从“0到1”的重大突破。今年3月，凯世通自主研发生产的CIS（CMOS图像传感器）低能大束流离子注入机正式入驻客户生产线，标志着公司成为中国首个获得此类订单的本土供应商，并且已经赢得了该客户的追加采购意向。

在此基础上，凯世通进一步拓展其产品线，相继研发并量产了包括常规低能大束流、超低温低能大束流以及高能机型在内的多款离子注入设备，为推动我国集成电路高端装备产业化进程做出重要贡献。自去年以来，公司加大了对细分领域专用离子注入机的开发力度，形成了涵盖SOI氢离子注入机、6/8英寸SiC高温离子注入机、中束流离子注入机及超高能离子注入机等在内的全系列产品矩阵布局，致力提升重大装备自主可控能力，同时也为未来实现更加多元化的客户结构奠定了坚实基础。

一直以来，万业企业旗下凯世通秉持自主创新的研发理念，致力于实现离子注入机关键技术自主可控。近期，凯世通入驻上海市浦东新区博士后创新实践基地，荣膺上海市高新技术成果转化项目自主创新十强、入选国家级专精特新“小巨人”企业，并以“离子注入机技术与应用产业”项目荣获上海市科技进步奖一等奖。

10月23日，2023年度上海市科学技术奖励大会在上海展览中心举行，隆重表彰为国家、为上海科技事业和现代化建设作出突出贡献的科技工作者。万业企业（600641.SH）旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）联合重点应用企业共同完成的“离子注入机技术与应用产业化”项目荣获上海市科技进步奖一等奖。凯世通副总经理、首席技术官夏世伟先生作为项目第一完成人出席大会并登台领奖。

上海市科学技术奖由上海市人民政府统一设立，是上海市深入实施科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略，服务高水平科技自立自强，加大对科学规律的第一发现者、技术发明的第一创造者、创新产业的第一开拓者、创新理念的第一实践者的奖励。      

凯世通秉持自主创新的研发理念，致力于实现离子注入机关键技术自主可控。此次获奖项目所研发的低能大束流离子注入机系列设备是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的核心设备，设备性能与稳定性表现卓越，实现了集成电路重大装备产业化突破。      

针对离子注入实际生产过程中亟需突破的关键工程技术问题，凯世通创新构建了包括基础研究和应用技术在内的“通用平台+关键技术模块+系统集成+应用技术”完整技术体系，形成了一系列高价值的自主知识产权成果，包括成功解决了芯片制造中低能量条件下的超大剂量注入问题，降低了制造成本；完成了颗粒污染源头控制技术，大幅提高了良率，取得重要工艺突破等。目前凯世通已打造出多款离子注入机标杆项目，在国内主流12英寸晶圆厂实现了产业化并收获了批量重复订单。随着产业化进程加快，凯世通持续提升产能，增强服务客户能力。

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