华海清科（688120.SH）：CMP设备目前在成熟制程已经实现了全部工艺覆盖，也具备先进制程的研发能力
格隆汇5月8日丨华海清科(688120.SH)披露投资者关系活动记录表，问答环节中，就“先进制程和成熟制程对CMP设备技术上的要求有区别吗？”，公司回复称，随技术节点的提升，对CMP设备的技术要求会有较大提高。公司目前在成熟制程已经实现了全部工艺覆盖，同时也具备先进制程的研发能力，正在积极寻找机会进行先进制程工艺的验证和扩展。
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