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离子注入

今天聊一下半导体工艺的一个知识，离子注入。离子注入是半导体掺杂以及改性常用的一个工艺。...离子注入机就是很关键的一环。...注入机是高压小型加速器中的一种，是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还能用于太阳能电池等的制造。...http://mpvideo.qpic.cn/0bf2mabzmaad2uajkm5oabpvgygdszqahfqa.f10002.mp4?...目前，全球离子注入机根据其下游应用不同，可以分为IC离子注入机和光伏离子注入机，IC离子注入机方面，美国的应用材料几乎垄断了市场，占据了70%左右的市场份额，其次为Axcelis（亚克士），占据了近20%

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锂离子电池

说到锂离子电池，一般做硬件的人，都应该想到一下几个部分：电芯，电量计，电池保护板，电池充电电路。...For example,电池参数：电芯：根据锂离子电池所用电解质材料不同，锂离子电池可以分为液态锂离子电池(li thiumion battery,简称为LIB)和聚合物锂离子电池(polymer...记住：锂离子电池没有记忆效应（如镍镉电池，长期不彻底充电、放电，易在电池内留下痕迹，降低电池容量的现象）即cell，有单芯，双芯，3芯，4芯。...所以，在锂电池设计中，可从以下几点着手：　　1、禁止电池过充到4.2V以上；　　2、禁止电池过放到2.75V以下；　　3、在金属外壳上装上防爆阀；　　4、工艺过程中防短路。

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等离子刻蚀技术

最早报道等离子体刻蚀的技术文献于1973年在日本发表,并很快引起了工业界的重视。...等离子刻蚀的原理可以概括为以下几个步骤： ● 在低压下,反应气体在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体,等离子体是由带电的电子和离子组成,反应腔体中的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,还能吸收能量并形成大量的活性基团...在平行电极等离子体反应腔体中,被刻蚀物是被置于面积较小的电极上,在这种情况,一个直流偏压会在等离子体和该电极间形成,并使带正电的反应气体离子加速撞击被刻蚀物质表面,这种离子轰击可大大加快表面的化学反应,...由于电子在磁场和电场的共同作用下将作圆柱状回旋运动而不是电场下的直线运动,磁场的存在将直接导致反应气体电离截面的增加,磁场的引进会增强离子密度,并使得等离子刻蚀技术可以在更低气压下得以运用（离子密度的增加,撞击表面的离子能量也可以在不降低刻蚀速率的情况下被降低,从而提高刻蚀选择比。

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离子注入工艺仿真

离子注入作为半导体常用的掺杂手段，具有热扩散掺杂技术无法比拟的优势。...如何做好离子注入，可以通过以下公式计算得到。...离子注入工艺仿真公式计算有点伤脑细胞啊，大家可以学习一下《Silvaco TCAD工艺仿真离子注入、扩散、淀积和刻蚀》这本课需要的同学可以来要PPT讲义。 TCAD有专门针对工艺仿真的功能。...上图是注入的参数选择窗口（Linux系统版本采用这个窗口）例如我们模拟不同硼离子注入角度的效果如上图，在晶向（110）的硅片上注入B离子，角度不同得到的注入深度对应的离子浓度不同。...在这里我们就可以清楚的得到，离子在哪个深度的浓度最大。

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等离子清洗机中射频等离子体的工作机理

在现代科技的推动下，等离子体技术在各个领域中扮演着重要角色。而PLUTO-T型等离子清洗机作为其中的一员，其独特的工作机理使其成为清洗领域的一颗璀璨明星。...PLUTO-T型等离子清洗机采用射频等离子体来进行清洗工作。射频等离子体是一种高能离子化的气体，具有高温、高能的特点。其工作原理基于电离和化学反应的相互作用，通过释放大量能量来清洗物体表面。...具体来说，PLUTO-T型等离子清洗机中的射频等离子体是通过一个射频发生器产生的。该发生器会产生高频电场，将气体离子化并加热，形成高温高能的等离子体。...这些等离子体被喷射到待清洗的物体表面，通过碰撞和化学反应来去除表面的污垢和污染物。射频等离子体清洗的过程中，有两个主要的作用机制。...总而言之，PLUTO-T型等离子清洗机中射频等离子体通过离子轰击和化学反应的双重

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离子注入工艺的设计与计算

介绍工艺之前，我们先聊一下昨天一个朋友提到的日本日新的离子注入设备。日本日新是全球3大离子注入设备商之一。 1973年的时候，该公司就开始做离子注入的工艺设备。目前的主要业务设备如上表。...重点介绍激光领域用到的一款设备：主要是注入H离子用的，可以达到400KeV的H+离子注入。...日新株式会社将在扬州经济技术开发区投资兴建离子注入机设备生产厂。离子注入工艺参数 00 离子注入就像上图一样，把离子砸到晶圆中。涉及到使用的力度、数量、角度，砸进去的深度等。...设备可以选择工艺需要的价态离子进行注入。如果单电荷可以做到400KeV的能量的话，对应3+离子可以做到1200KeV，可以直接倍速关系。...如果我们只知道需要掺杂的剂量，和离子能量，如何计算注入离子在靶材中的浓度和深度例如一个140KeV的B+离子，注入150mm的6寸硅片上，注入剂量Q=5*1014/cm2，衬底浓度2*1016

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等离子清洗机中氧等离子体刻蚀对石墨涂层的性能研究

在氧等离子体轰击石墨涂层的过程中，基本的反应就是，氧等离子和石墨涂层中的表层C原子发生氧化反应，不论是生成了CO2或者CO，在等离子清洗机的反应腔内，是属于一种真空状态，所以反应的气体就会被抽离真空反应腔...，而相反各项异性水平刻蚀机制是指的是在同时刻蚀缺陷的情况下，氧等离子体刻蚀会优先寻找下层的缺陷在上层石墨涂层的缺陷被刻蚀的同时氧等离子体会优先寻找下层石墨涂层的缺陷，对于整体的石墨涂层陷刻蚀速率远大于非缺陷处的刻蚀速率...PLUTO-T等离子清洗机处理石墨案例处理前样品上贴了一片盖玻片作为阻挡在经过PLTUO-T等离子清洗机处理之后，我们可以发现相对于处理前，处理后发生了很明显的变化。...，等离子体的流量，一定程度上可以制备出可控缺陷的石墨涂层。...说明氧等离子体刻蚀石墨涂层这一方法在制备石墨涂层方面有潜在的应用。

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锂离子带给动力电池的「爱与恨」

目前各国科学家及研发机构也在寻找克服锂离子电池缺陷的解决方法，改善使用痛点。短路的元凶究竟是谁？锂离子电池最早由索尼在1991年推出，其原理是依靠离子在电极间运动产生能量。...而且，锂离子电池重量更轻、能量密度更高，更加适合用于驱动电动汽车。与其优点比起来，锂离子电池的缺点很少，但是每个缺点都十分致命。这其中严重的，就是锂离子电池内部的枝晶。...锂离子是否难以替代？不只有锂枝晶，锂离子电池还面临的原材料稀少的问题。与其他金属相比，锂在地球的含量相对稀少，随着汽车电气化的进展，锂金属的价格也在升高。...不过与锂相比，钠更重，制成的钠离子电池储能能力也不如锂离子电池。换种方式，继续使用锂除了锂离子电池，现在也有研究机构在研发锂金属电池。...与锂离子电池不相同的是，锂金属电池采用金属锂作为负极，依靠金属锂的氧化反应产生电能；而锂离子电池使用石墨作为负极，以含锂化合物作为正极，依靠锂离子不断获得、失去电子来实现电能传输。

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大气负氧离子监测站技术方案

大气负氧离子监测站技术方案大气负氧离子监测站旨在实现对环境中负氧离子浓度的精准、实时、长期监测，同时同步采集相关气象参数与环境质量指标，为生态环境评估、旅游景区规划、城市空气质量改善等领域提供科学、...本地层面，传感器与数据采集控制器之间采用低功耗无线通信技术，减少布线成本，提高部署灵活性；远程层面，数据采集控制器通过 4G/5G 或以太网方式将数据上传至云端平台，保障数据传输的实时性和稳定性，同时支持本地数据存储备份...负氧离子传感器每年进行一次实验室标定，气象和环境质量传感器支持现场校准和远程校准两种方式，可通过云端平台下发校准参数，实现传感器的精准校准。...设备安装高度根据监测需求确定，负氧离子传感器安装高度一般为 1.5 - 2m，气象传感器安装高度一般为 2 - 10m。...通过长期、精准的监测数据积累，有助于深入研究负氧离子浓度与气象条件、环境质量的相关性，为改善人居环境、提升生态环境质量提供技术支持。

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干货收藏 | 锂离子电池pack工艺介绍

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等离子清洗机技术要点讨论-1

等离子体表面处理技术等离子体按照传统分类方式可以分为低温和高温等离子体，其二者的区别主要在于等离子体的温度不同，等离子体的温度是依据电子和离子温度两者定义的。...当二者相等时就是高温等离子体，反之是低温等离子体。相比于普通的化学反应，低温等离子体中的活性粒子活性更强种类更多，因此依赖于此活性粒子发生的化学反应会更加剧烈，更加充分。...现有等离子清洗设备都是通过改变功率、增加清洗时间以及改变压强等方式以影响清洗效果，针对不同的清洗设备和不同的基片，所采用的清洗工艺也存在着差别，同时在清洗过程中因为缺乏对放电腔体内部等离子特性的测量手段...现有射频等离子体设备只能设定功率，并考察在一定放电功率下设备的清洗效果。而实际清洗效果是和等离子体密度，电子密度等参数直接相关的。...在现有研究手段中，因测试手段缺乏和系统理论尚存在不完善，目前还不能建立起等离子体参数与清洗效果的对应关系。

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PECVD等离子增强化学沉积技术

原理（how)在低温真空腔体内，等离子激发反应气体，在基材（被保护的PCBA)表面开启化学反应，生成纳米级厚度的网状保护膜（防泼溅、防潮、疏水、疏油，防腐蚀、防盐雾、防汗液）。...无人机，智能门锁、智能马桶逆变器等根据防护要求调整工艺参数，纳米层厚度（15~40nm)达到防溅等级（IPX1~2) ，适用于整机防护；300~2500nm隔离涂层的浸水等级（IPX4~...实现等离子超薄纳米涂层：需要等离子真空设备+配方药水，此设备占地面积小，一键式自动操作（产品置于设备腔体0.5~1小时左右），超安静运行。

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锂离子电池充电管理芯片应用

基本概述 TP4054是一个完善的单片锂离子电池恒流/恒压线性电源管理芯片。更值得一提的是，TP4054专门设计适用于USB的供电规格。...TP4054芯片具有CC/CV模式，可以更好地对锂离子电池进行充电管理和保护，同时能够起到很好的充电与放电保护功能。...VCC（引脚4）：提供正电压输入。为充电器供电。VCC可以为4.25V到6.5V并且必须有至少1μF的旁路电容。...工作原理 TP4054是一款采用恒定电流/恒定电压算法的单节锂离子电池充电器。它能够提供最大500mA左右的充电电流（借助一个热设计良好的PCB布局）和一个内部P沟道功率MOSFET和热调节电路。

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小型等离子清洗机结构组成

小型等离子清洗机结构要点传统的电容耦合式等离子清洗机结构，即内平行极板。...系统由三大部分组成包括真空系统、放电系统和控制系统在容性耦合等离子产生装置下，电子密度与极板间距成正比例关系，平均电子温度与极板间距成反比关系，其均匀性与极板间距成正比关系即随着间距的增大均匀性变好...卧室电容耦合等离子清洗机，可以直接将工件放在下电极上，但是研究发现，等离子体密度最大区域，是在等离子区域2-8cm 之间，因此可以使用一个高度为3cm的支座，支座的放置也便于工件的取放。...电容耦合式等离子清洗机反应室本身为不锈钢管构成，电容极板位于真空室内，因为金属本身对于辐射具有很好的屏蔽效果，所以不需要在对装置设置单独的屏蔽装置，辐射和干扰都非常小，不会对控制系统造成干扰。

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什么是去离子水DI water？

今天拓展学习了一个半导体制造相关的知识：去离子水(Deionized water)。几乎每一道清洁流程的最后一步都要用到水。...规格自来水DI水电阻系数MΩ-cm0.000215~18电解质（百万分之）200，000＜25特别物（﹟/cm^3)100，000＜150活体有机物（﹟/cm^3)100~10，000＜10水之纯化几乎都用离子交换或去离子程序...软水槽：用离子交换树脂除去阴阳离子将硬水成软水。4. 碳吸收槽：活性碳过滤，除去氯和少量的有机物。5. 紫外光照射：用紫外光等方法控制细菌生长及除去有机物6. 超级过滤器：除去水中的微颗粒进一步纯化。...逆渗透膜之使用较为有效，因其减少了离子交换树脂再生的次数。

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高通量筛选——离子化合物 | MedChemExpress

离子通道离子通道 (Ion Channel) 是一类跨膜的大分子孔道蛋白，可允许特定类型离子在电化学梯度驱动下穿过细胞膜，从而完成信号传导、细胞兴奋性调节等生理功能，已成为当前药物研发中仅次于蛋白激酶...离子通道分类离子通道的开放和关闭，称为门控 (Gating)。...电压门控离子通道因膜电位变化而开启或关闭，以最容易通过的离子命名，如钾通道、钠通道、钙通道、氯通道等。...离子通道筛选方法电生理膜片钳 (Patch clamp technique) 是一种通过记录离子通道的离子电流，反映细胞膜上单一 (或多个) 离子通道分子活动的技术。...离子通道离子通道筛选询价及订购 MCE 一站式药物筛选平台包括计算机虚拟筛选、化合物活性筛选、基于离子通道的化合物筛选、化合物定制合成等。具体项目需经评估后确定对应的方案和价格。

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离子纠缠会是量子计算机的未来吗？

NIST量子计算实验中使用的离子陷阱（Ion trap），通过用两种不同种类离子形成的量子比特进行逻辑运算。...来自NIST的团队在《自然》杂志上报告了他们成功地将铝离子（Mg）和铍离子（Be）纠缠起来，然后运用这样的纠缠离子展示了2种重要的逻辑运算：CNOT闸（受控反闸，Controlled-NOT）和SWAP...离子在“x”中被俘获了。一旦离子被俘获，科学家们就用激光脉冲（laser pulse）同时轰击它们——这会令它们能够保持足够长时间的纠缠态来进行实验——其中一道脉冲也用来侦测这对纠缠离子的量子状态。...由于是不同种离子的纠缠，所以不同的离子会对不同波长的光有反应，那么它们就能被分开来单独侦测；也就是说，一个离子对于某种脉冲产生反应时，另一个是不会受到脉冲影响的。...，将离子推往陷阱的不同区域。

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材料本质与等离子体作用的奥秘

为什么同样的等离子体环境，对不同的材料会产生截然不同的效果？答案深植于材料本身的根本属性——它们的材料类型（金属、聚合物、陶瓷、玻璃、复合材料）决定了它们如何与等离子体“互动”。...不同材料的等离子体响应：本质决定命运等离子体技术利用高能粒子环境改变材料表面，但其效果并非“一刀切”。材料本身的根本属性——导电导热性、化学键强度和热稳定性——才是决定其如何响应等离子体的关键。...陶瓷/玻璃：稳定堡垒的攻坚核心属性：极高稳定性（强离子/共价键）、高熔点、高硬度、绝缘性。等离子体作用：强大的化学键使其对常规等离子体高度惰性，刻蚀极其缓慢。...4. 复合材料：走钢丝的平衡术核心属性：多材料组合（典型：聚合物基体 + 增强纤维如碳纤/玻纤），综合性能优异（轻、强、耐腐）。...核心启示：理解材料是驾驭等离子体的关键等离子体技术并非“万能钥匙”，其效果高度依赖于被处理材料的内在属性。

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探秘景区“空气维生素”监测黑科技：负氧离子监测站如何守护你的呼吸健康

如今，全彩屏负氧离子监测站正成为景区的“环境管家”，实时揭秘负氧离子浓度这一“空气维生素”的含量，为游客健康与景区管理提供双重保障。一、什么是负氧离子监测站？...负氧离子监测站是集高精度传感、数据实时分析、全彩屏可视化于一体的智能化设备，核心功能是监测空气中负氧离子浓度，并可扩展监测PM2.5、温湿度、噪声等环境参数。...二、为什么景区需要安装负氧离子监测站？游客体验升级：负氧离子被誉为“空气维生素”，浓度越高，空气越清新。监测站通过数据透明化，让游客直观感受“森林氧吧”的健康价值。...核心技术揭秘传感器层：高精度负氧离子传感器捕捉空气离子浓度，转换为电信号；数据处理层：采集单元将信号转化为数字数据，通过无线传输至云平台；展示层：全彩屏实时显示数据，部分设备支持超标预警与语音播报；扩展功能...核心参数：优先选择精度高、支持多参数扩展的设备（如WX-FZ5、WX-FZ4型号）；显示功能：全彩屏需具备强光可视性，确保游客清晰读取；售后支持：选择提供云平台服务与本地化维护的厂商，如山东九丞、山东万象环境等

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等离子清洗机在AFM实验中应用

通过此刻获得的电压可以换算成粘着力值力-位移曲线和针尖-扫描器的相对位置等离子清洗机 PLUTO-T实验前，微悬臂首先在去离子水中清洗。...而后在等离子体清洗机中使用氧等离子体清洗三分钟，等离子体处理之后，样品表面会变得超亲水并拥有非常高的表面能。

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