中国半导体产业加速崛起，精密柔性是关键？

近日，增广智能联合高工咨询等单位企业共同发布《2022半导体行业机器人应用发展蓝皮书》。该蓝皮书结合了过往以及当下的行业发展节奏，透过市场现状、技术发展、资本布局、场景应用、企业案例和未来前景等多个角度的梳理，旨在客观梳理半导体行业机器人应用的整个发展脉络以及走势，为行业产业链相关企业的发展提供新视角、新思考。

随着半导体产业的第三次转移，国内半导体行业的持续高速发展很大程度上拉动了半导体设备的需求，同时原产线的改造升级加速也为国内机器人产业链企业带来了巨大应用机会。

对于机器人的应用而言，半导体产业是“高要求、高标准、高壁垒”的典型行业。在半导体制造进程中，机器人必不可少，而电动执行器作为智能制造最底层的现场级智能基础装备，在半导体制造中的应用场景也正不断拓展。

增广智能专注于运动控制系统及智能电动执行器，旗下各类执行器产品线丰富，覆盖电动夹爪、电动推杆、电动滑台、旋转缸和直线旋转执行器等，便于客户针对不同的工况进行选型和组配。

针对半导体行业，增广智能执行器的柔性、精密性、开放性、可控性等特点，能很好地满足行业不同工序的应用需求，包括晶圆制造、封装、测试等环节。

01 柔性化

无论是晶圆制造，还是封装、测试，设备都要适应多工序、快节拍、低容错率等需求。基于机电一体化高集成度的设计，以及强大的驱控一体技术，RM增广执行器预置功能丰富，具备了较高的生产柔性。以电动夹爪为例，同一款型号夹爪具有较大的出力范围，在一定行程范围内，无需反复调试便可实现自适应夹持多种工件，有效增强生产的灵活性和应变能力，提高生产效率。

02 开放化

RM增广电动执行器运动控制系统的开放性、兼容性和灵活性，不仅可以嵌入各类设备或者自由组配成多轴机器人，而且可以与各类机器人组合成复合机器人，兼容搭载更多视觉、声控等系统，稳定协同工作，同时可以输出数据接入现场物流系统、中控系统或云端数据等，满足更复杂、更高集成度的现代化生产需求。例如，电动夹爪可以配合AMR、机械臂或复合型机器人等进行晶圆盒的夹持移载、晶圆盒自动上下料等。

03 可控性

软件方面，RM软件控制系统界面友好，操作简单，能快速设置点位运动，实时或离线采集力时力位数据，实时监控运行状态，实现数字化管理，让生产更高效、更可控。

04 精密化

半导体产业工艺复杂，整体流程涉及到成百上千道工序，对生产设备的精密度要求极高。随着半导体技术的不断突破，现有的设备已逐渐无法满足更高的精密化需求。增广智能独家的SoftForce精密力控技术，为行业提供了更高力控精度的精密力控型产品系列及解决方案。RM精密力控型电动夹爪、精密力控型电动推杆、精密力控型电动滑台、精密力控型直驱执行器等，以高精密、高柔性、高智能的优势活跃在各个生产环节中，例如晶圆的居中定位、微型芯片的移载、晶粒的高频次拾取放置等。

RM增广精密力控型微型夹爪夹持细微易损的芯片

RM增广精密力控型微型夹爪夹持超细微、易碎的光纤管（直径125μm）

半导体技术持续迭代，进一步带动了设备升级的需求释放。增广智能也不遗余力地致力于产品的更新迭代和技术突破，以满足半导体高要求、高标准的先进制程需求；同时联合上下游不同领域的企业，在半导体行业一起构建柔性智造生态圈，共同助力中国半导体行业向更高级别的自动化、柔性化、智能化方向进一步跃升。