三星电子开发出透光率达88％的EUV薄膜

集微网消息，三星电子在2021年在代工厂论坛上宣布自主研发EUV薄膜（pellicle）的消息，据ETNews报道，在2022年底三星电子完成透光率达88%的EUV薄膜产品开发，并可以大规模生产。

报道指出，韩国的EUV薄膜一直被外部厂商垄断，三星电子开发EUV薄膜，是为应对未来的需求变化并实现供应多样化，供应链多元化和稳定值得期待。业界预测，今年EUV薄膜的需求将比去年增加近2倍。报道表示，最早在1~2年内，韩国国产EUV薄膜将应用于商用化、量产生产线。

根据此前报道，除了开发自己的EUV薄膜外，三星电子还在推动与国内主要材料公司的合作。据台媒DIGITIMES报道，三星电子将在其3nm工艺中采用透光率超过90%的最新EUV薄膜以提高良率，这些薄膜将来自韩国公司S&S Tech。

S&S Tech在2021年生产成功开发出了透光率达90%的半导体EUV薄膜，并宣布最早将于2023年上半年进入透光率超过90%的EUV薄膜的批量生产。

（校对/张杰）