长春光华微电子设备工程中心有限公司总经理郑立功：创新寻突破 实干赢未来

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“我是一个磨镜子的”，他总是笑着这样介绍自己。然而，正是这样一个谦逊幽默的人，集科学家、科研管理者、上市公司负责人、光华公司总经理等四个角色于一身。他在不同时期，带领不同的团队，一次次地创造着奇迹，他就是长春光华微电子设备工程中心有限公司(以下简称“光华公司”)总经理郑立功。

坚定信念 攻克难关

2003年，郑立功博士毕业后进入长春光机所光学中心工作，2007年任副主任，到2015年离开科研一线时，已经是我国光学制造领域的知名专家。

从事科研工作期间，郑立功与研究团队共同完成了两项主要工作。一个是攻克光学复杂曲面制造工艺、设备、检测技术，解决了长期制约我国空间光学系统发展的技术瓶颈。另一个是攻克大尺寸非对称光学系统共基准检测，使我国大口径空间相机高分辨率、高质量成像技术实现跨越式发展。

2015年，所长办公会研究决定提拔他为军品科研处处长，负责全所的科研管理工作。此后，身兼科研和管理两项任务的他，利用5年的时间，先后在科研处、奥普光电的管理岗位积累了丰富的经验，留下了一个个令人惊叹的成绩。

精准定位 研发新品

光华公司的前身是长春光机所机电工程部，2002年成立以来，一直专注于高端微电子设备的研发、生产和销售服务，在被动元件生产设备、半导体生产设备等领域多次打破国外垄断，为长春光机所旗下的重点企业。

2020年，光华公司急需一名在科研和管理两个方面均具备优秀能力和丰富经验的人，带领公司迅速突破，实现高质量发展。几乎没有经过怎样的讨论，大家不约而同地想到了一个人——郑立功。至此，他与光华公司结缘。

进入光华公司后，郑立功一直在思考我国微电子设备相关领域面临的窘境。微电子产业已成为全球经济增长的支柱，我国在2021年突破万亿元大关，其发展一直遵循“一代设备、一代工艺、一代芯片”，因此超精密高效微电子装备是引领其发展的核心力量之一，但我国仍存在差距。

基于此，郑立功与公司领导班子一起进一步明确了光华微电子的定位：面向高端制造业，助力国家半导体集成电路装备自主可控，并利用一年的时间，在新产品研发、市场端开拓、内部管理等方面快速打开局面，在2021年底取得了立竿见影的效果。

专注科技 奋发向前

科技创新是第一驱动力，同时也是光华微电子最突出的“看家本领”。“作为发展中的创新型国家高新技术企业，我们深知，只有产品和技术才是企业发展的硬保障。”郑立功说。

激光调阻机为生产片式电阻的关键设备，是光华公司的“压舱石”。2020年以来，郑立功带领研发团队重点提升设备的稳定性、效率、精度，并在部分机型实现了100%的国产化率，目前已达到80万粒/小时精密调阻，继续保持着国内中高端产品的“领头羊”地位。

同样，晶圆探针台国内市场被国外公司垄断，郑立功就带领研发团队针对关键技术进行了重点攻关，于2020年成功研制出我国首台全自动商用晶圆探针台，打破了国外的垄断，在业界造成了较大的轰动，目前已实现亚微米级平台定位精度，实现国产设备“零”的突破，入选国家“十三五”科技成就展02专项展区。

继2021年，光华公司获得工信部专精特新“小巨人”企业、吉林省新型研发机构等资质后，2022年，光华公司被工信部认定为第七批制造业单项冠军示范企业。

不断创新 扬帆远航

创新能力不断增强、精细程度不断提高、行业地位不断攀升，是光华公司迈向高质量发展的真实写照。

在被动元件生产设备领域，光华公司已由科技攻关的“排头兵”发展成为该领域的“领头羊”，在半导体晶圆检测领域实现了从“跟跑”到“并跑”的转变。截至目前，光华公司已开发研制出4大领域10余种先进生产设备和特种精密机械产品，广销海内外。

“实现微电子设备领域的全面超越‘路阻且长’，但我们将依靠技术力量、创新成果和工匠精神，用实干成就成绩，在以科技创新为核心的‘产学研并举’的发展道路上再奋发，再前进。”郑立功说，放眼未来，面对日趋复杂多变的形势，实现微电子装备的自主可控，仍然是光华公司的使命和努力方向。“‘十四五’期间，我们力争在3-5个产品方向上补齐国内装备技术短板、成为国内领头企业。”