曝美国竟想禁止向中国出售DUV光刻机 但幸好被拒绝

运营商财经 康钊/文

在发布2022第三季度财报时，全球最大的光刻机企业ASML方面称，可以继续将非EUV光刻机从欧洲运送到中国，这意味着相关的DUV设备并不受限制。这令中国的芯片产业大大松了一口气。

这意味着中国虽然无法从ASML购买EUV光刻机，但还可以继续继续购买DUV光刻机。有了EUV光刻机就可以生产14纳米以下的芯片，而美国一直把14纳米视为先进制程，近年千万百计封杀中国的14纳米以下的芯片产业链。

可能是觉得还不过瘾，今年6月，美国还游说荷兰，希望除了在禁止向中国出售最先 进的EUV光刻机基础上，进一步将禁售范围扩大到上一代的DUV光刻机的出口。

但是，在此次第三季度财报发布会上，ASML公司表示，“经过其初步评估，新的出口限制不会修改ASML将光刻设备运出荷兰的规则，因此这次的管制对ASML在2023年整体出货计划的直接影响十分有限”，这意味着相关的DUV设备并不受限制。

为何中国是否能进口DUV光刻机很重要呢？这是因为虽然DUV光刻机没有EUV光刻机先进，但是，旧款DUV光刻机，可生产28nm及以上制程工艺芯片，是制造汽车、手机、计算机乃至机器人所需的某些非先进芯片的最常用设备。如果美国胁迫成功，中芯国际和华虹半导体等中国芯片制造商可能会因此受到沉重打击。

很多人狠奇怪，为何ASML公司是荷兰企业，却要听命于美国呢？这是因为ASML的EUV设备零部件受控于美国。截止2020年末，ASML的EUV中有90%零部件来自进口，而且根据ASML加入EUV LLC的承诺，美国零部件需占比55%以上，并接受定期审查。

所以ASML公司在EUV光刻机方面只能听命于美国，但其DUV光刻机用美国技术很少，零部件也不会受制于美国，所以，其DUV设备可以不听美国的禁令。

ASML公司对中国还是不错的，主要是因为中国市场在ASML公司的收入中占有一定比重，比如第一季度中国大陆市场在ASML的营收占比达到34%，超过12亿欧元。

（责任编辑：韩丽）