据外媒报道,三星已取消增加光刻胶供应商的计划。
据悉,该公司曾与至少四家潜在的日本供应商接触,其中包括世界上最大的光刻胶制造商东京应化工业,但这些公司都无法满足三星的厚度要求。到目前为止,三星电子的 3D NAND 光刻胶仍由东进半导体独家供应。
据了解,在 2013 年量产第一代 3D NAND 闪存之前,三星电子与东进半导体深度合作,并公开所有工艺步骤来鼓励开发。之后东进半导体成功开发出比现有 KrF 光刻胶厚 30% 的材料。
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