成果斐然，中科院上海微系统所12英寸大硅片攻关团队获表彰

集微网消息，中国科学院近日组织开展“科技创新先锋团队”评选，表彰30支在科技攻关任务中创新成效显著的科研团队，其中包括上海微系统与信息技术研究所12英寸大硅片攻关团队。

事迹介绍材料透露，为解决12英寸硅片长期依赖进口的难题，上海微系统所于2014年组建大硅片攻关团队，2016年10月拉制出第一根大产率单晶棒，2021年又突破无缺陷硅单晶生长技术，可满足先进存储器制造需求。

材料显示，目前该团队已掌握集成电路领域面向14纳米先进节点硅片技术，并实现存储器用无缺陷硅片技术突破，截至2022年5月，累计出货量超500万片，满足国内5家主要集成电路制造企业23%的正片需求。

此外，计算技术研究所智能超算攻关小组也在表彰之列，介绍材料显示，该团队突破了国产高性能服务器处理器芯片性能技术瓶颈，攻克智能超算系统中互联芯片核心技术，为研制E级系统奠定了基础。（校对/Aileen）