光刻机是制造芯片过程中最重要的设备之一,没有它多大的晶圆厂都得停摆。在全球缺芯的重要时刻,各大晶圆代工厂纷纷投资以扩大产能,对光刻机的需求是越来越大。
因此,ASML就更加受到关注,因为它家占据了全球光刻机市场80%左右的市场份额,几乎垄断了中高端光刻机市场,稍微高端一些的光刻机,基本上都是出自ASML。
然而,近期却有不少消息传来,俄地区正在研发X射线光刻机,日本佳能将推出3D光刻机,还有日本凯侠正在研发NIL制程技术。因此,ASML的光刻机已不再重要。
当然,不可否认ASML的光刻技术并不是唯一,但它家的光刻机却是目前能够应用,且量产最多,进入芯片产线最多的。其他的技术也有可能,但实用都还需要时间。
就目前的情况来看,未来一段时间还离不开ASML的光刻机,暂时也不能说再见。
可以说,ASML能够成为热点,一定程度上说明它家的光刻机现阶段依然重要。因此,事关光刻机还是受关注,前段时间,中企格科微就宣布,ASML光刻机如期进场。
近日,上海新阳在互动平台表示,他们与中芯北方搭建的1400光刻机安装调试基本完毕。中芯北方是中芯国际与北京市政府共同投资设立的,也是先进制程芯片制造厂。
上海新阳传来的消息事关光刻机,还跟中芯国际有关,这又释放了哪些信号呢?
首先,光刻机依然来自ASML。上海新阳的消息提到的是,安装调试基本完毕。而这台光刻机其实还是来自ASML,是上海新阳2020年就从ASML订购的。
本计划于2020年底到货,但中间出了些波折,终于在去年9月实现顺利交付进场。
然后,就进入了安装调试期,近日消息显示,安装调试基本完毕。接下来,就能投入使用了。上海新阳购买的ASML光刻机,不是用来生产芯片,而是用来验证光刻胶。
上海新阳是半导体材料公司,主要开展光刻胶项目的研发。此前,上海新阳就立项进行193nmArF干法光刻胶的研发,正是为这个项目,才从ASML购买了1400光刻机。
光刻胶是芯片制造过程中最重要的光刻材料,要想实现进入芯片产线实际应用,就必须用光刻机提前验证,这样才能做出品质过硬的光刻胶,因此用光刻机验证至关重要。
其实,不仅是上海新阳购买了光刻机,晶瑞股份、南大光电等之前也购买了光刻机。
其次,中企在芯片材料上发力。晶瑞股份、南大光电等也都是为了验证光刻胶。比如晶股份购买的ASML光刻机,还是从韩企SK海力士购买的二手的,但也不影响使用。
光刻胶一直以来被国外垄断,尤其是高端光刻胶基本需要从日企进口。为了实现突破,我们的光刻胶企业也真不容易,连二手光刻机也要,就是为了尽快突破国产光刻机。
好消息是,南大光电、上海新阳的ArF光刻胶都有了突破,可用于生产7nm芯片。
再者,中芯在配合国内产业链。从上海新阳的消息可以看出,这个项目还是跟中芯国际合作的。由此看来,为了摆脱光刻机进口问题,中芯已经在和中企进行了深入合作。
中芯国际尽管去年和今年1-2月份取得了突破成绩,但不少设备和材料等依然需要从国外进口,这当然就会受到限制。像光刻胶,前段时间日企方面就对中企限制购买量。
要彻底摆脱国外限制,就需要积极配合打造国内芯片产业链,看来中芯已在行动了。
至于光刻机,我们还有上海微电子,在后道封装光刻机方面已经不受限制,只是芯片制造用的前道光刻机还有差距,目前仅是90nm。不过,更先进的光刻机正在研发中。
还有其他国内企业也在进行光刻机相关技术研发,相信国产高端光刻机一定会突破!
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