晶瑞股份（300655.SZ）：顺利购得一台ASML XT 1900 Gi型光刻机

格隆汇1月19日丨晶瑞股份(300655.SZ)公布，公司于2020年9月28日召开了第二届董事会第二十八会议，审议通过了《关于购买设备的议案》，为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口ASML光刻机设备。

自公司开展设备采购活动以来，受到投资者广泛密切关注。经公司多方协商、积极运作，顺利购得ASML XT 1900 Gi型光刻机一台。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步，公司将积极组织相关资源，尽快完成设备的安装调试工作。

目前高端集成电路材料的核心产业化技术仍掌握在国外企业手中，大部分市场份额仍被外企所占据，不少集成电路用关键材料已经成为我国“卡脖子”的技术领域，在国际环境日益严峻的情况下，如不能成功实现该领域的国产化，未来将付出更大的代价。公司量产光刻胶近 30年，组建了国内领先的光刻胶研发团队，具有丰富的光刻胶研发和生产经验，先后承担了国家“85”攻关、“863”重大专项、科技部创新基金等科技项目、承担了国家02重大专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目，并顺利通过国家02重大专项验收。公司完成中试的KrF光刻胶已进入客户测试阶段，达到0.15μm的分辨率。此次购买的ASML光刻机设备系公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目的必要实验设备，旨在研发出更高端的ArF光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。

公司采购的光刻机设备为ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机，可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。

此次公司采购的ASML光刻机设备的顺利交付，可以保障公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性，对加快产品研发项目进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，有助于落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。