“技术奇迹”EUV光刻机被美国限制出口的真相

EUV光刻机是一项技术奇迹。一台发生器每秒喷射出5万个微小的熔锡液滴，高功率激光对每个液滴进行两次爆破，第一次可以使锡成形，第二次是使锡蒸发成等离子体。等离子体发出极紫外光辐射，这种辐射聚集成光束并通过一系列反射镜反射最终撞击晶圆。反射镜十分光滑，以至于即使扩大到德国国土面积的尺寸大小，其凹凸也不会超过1毫米。

EUV光束撞击晶圆的精度很高（本身就是材料科学的奇迹），相当于一把从地球上发射的弓箭直接击中放在月球上的苹果。EUV光刻机就是通过这样一系列操作，将晶体管拉入5nm的晶圆，5nm大概相当于我们的指甲在5秒内长出的长度。

技术奇迹EUV光刻机的制造困局

一台EUV光刻机由10万多个零件组成，成本约为1.2亿美元，需要用40个货运集装箱装运。但就是这台价值1.2亿美元的机器，目前世界只有几十台，各国对其的需求量也远远超过供应量，且还有大约两年的未交货订单。

之所以数量少，是因为目前世界上只有荷兰的ASML公司能够制造EUV光刻机。ASML是一家几乎只生产用于芯片制造光刻机的公司，尽管它的业务很局限，但该公司的市值却超过1500亿美元，远远高于IBM的市值，仅略低于特斯拉。

EUV光刻技术自1980年以来一直在发展，直到最近两年才进入批量生产阶段。除了ASML，其它公司（尼康、佳能等公司）只能生产不使用EUV技术且成本效益较低的老一代光刻机，这些公司所拥有的经验、专业知识以及市场定价权都来自于极端技术需求下竞争激烈的行业数十年的盈利能力。

如果这些公司能够制造EUV光刻机，那么他们将赚上数十亿美元。这也是为什么在经历了30多年和数十亿美元的研发投入后，ASML能够获得如此多的订单：EUV光刻机走在人类技术能力的前沿，制造难度大。

中国自研EUV光刻机的可能性

中国几乎没有光刻经验和光刻行业，任何试图开发EUV光刻机的中国公司都必须从头开始，不得不努力缩小与拥有数十亿美元资产、数十年经验以及经验和专业知识都颇为丰富的成千上万员工的ASML的差距，同时也不得不在那些经验丰富和拥有数亿美元的生产光刻机的公司曾经失败过的地方取得成功。

由此可见，在短期内，中国公司自主生产EUV光刻机的可能性很小。