在半导体、微电子等高端科技行业,有一类特殊的气体起着至关重要的作用,而且这种气体的纯度是否能够达到极致,关系着电子产品的性能、后续生产线能否正常运转等等。这类特殊气体有着一个概括的名字——电子特气。
可以说,如果想要发展半导体产业,电子特气不可或缺。电子特气贯穿半导体各步工艺制程,尤其在半导体薄膜沉积环节发挥不可取代的作用,是形成薄膜的主要原材料之一。
当今全世界电子特气的龙头市场被欧美牢牢掌控,几乎近94%的市场份额被美国空气化工、普莱克斯以及德国林德、法国液化空气和日本太阳日酸等企业占有。在国内电子特气市场上,约85%的份额同样被这些巨头占据。
但目前的难题是,电子特气种类太多,如果要全部做到高端化,难度比较高,目前也缺乏领军型的企业。2014年,国家集成电路产业投资基金成立,首期募集资金规模达1387亿元。基金二期募资于2019年完成,募资2000亿,也就是目前中国共募资3387亿,对设备制造、芯片设计和材料领域加大投资。
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