2019年最后一个夜晚，这里灯火通明

【新年寄语】

我是土生土长的北京亦庄人，亲眼目睹亦庄的点滴变化，像集成电路、汽车制造、医药健康这样的企业这几年越来越多。2020年，我希望自己正在准备的“模块化调试”能尽快研发完成，节省出大量装备调试时间；更希望亦庄高精尖产业能再进一步，攻下更多的技术山头。

——苏志琛

先戴上一次性帽子和手套，再套上从头到脚的蓝色连身防尘服，接着穿上能提到小腿上的防尘鞋，最后还得捂上口罩。进入洁净间前的复杂流程，北方华创亦庄工厂的生产员工苏志琛熟练到只用20秒就能完成。

时钟显示此刻已是晚上8点，但洁净间里灯火通明。2019年最后一个夜晚，这里全无迎接新年的轻松气氛。作为国内重要的芯片制造装备生产企业，2019年北方华创订单暴增，最近就有一批设备要出货到南方，苏志琛得抓紧完成调试。 在指甲盖大小的芯片中，电路的宽度只有头发丝的万分之一，因此芯片制造装配厂房里容不下一丝尘埃。苏志琛穿上这一身装备，先后通过洁净间前的三道关卡，再经过风淋吹扫，方能进入洁净间工作。即便是洁净间外，保洁员也得不间断地拿着拖布一遍遍擦洗地面。

苏志琛面前的PVD设备（物理气相沉积设备）从正面看如同一个双开门的冰箱，有一人多高。芯片制造过程中，晶元表面会被加工出数以亿计的凹槽，PVD设备要做的就是把金属薄膜填充到凹槽内，从而实现金属互联。而这一层层的金属薄膜厚度都是肉眼难以看到的纳米级别。目前全国仅有北方华创的亦庄工厂能生产这样的设备，且设备工艺水平已达国际一流。

PVD设备与电脑之间连着数十根线缆。连通电源，系统运转，苏志琛在电脑上敲下500微米的参数。很快，机械臂旋转起来，三根针撑起的托盘向上抬高500微米。“这是在调试系统稳定性，是否达到设计水准。”全副武装的他，紧盯着设备的每一个动作，目不转睛。

同一个洁净间里的同事称苏志琛为“大拿”。每次调试前，他就先把过去调试所发现的问题一一列出来做准备，一些容易忽略的细节他总能最先察觉。三年下来，他已经把调试时间从一个月缩短到了17天。

芯片产业是中国高端制造的短板，而芯片制造装备更是“卡脖子”的难题之一，研发、生产和调试都必须分秒必争。目前，北方华创18万平方米的亦庄生产基地可年产2000台套半导体设备，这些设备都具有自主知识产权，涵盖刻蚀机、PVD等六大类尖端产品，有能力支撑300亿元规模的半导体装备产业。