韩媒报道,全球第一光刻胶大厂日本JSR计划将在韩国青州建立一条生产用于ArF的光刻胶产线,用于供货三星电子。
日本JSR公司是全球最大的光刻胶生产厂商,占全球市场24%份额。由于日本的出口管制政策,韩国半导体产业,特别是三星电子在努力推动半导体原材料的本地化及供应量的多样性、稳定性,JSR自然不愿失去这一巨大的市场,因此推动在韩国本地建立产线,规避出口限令。
ArF光刻是存储设备生产的主要手段,光刻胶是生产过程中不可缺少的材料,目前ArF光刻胶不受日本出口限令的限制,业内人士预计其主要目标是生产受出口限制的EUV光刻胶。
业内人士表示,日本JSR的投资计划已经与三星电子共享,但是还未下达最终决策。
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