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压电平台与手调、电动平台的集成:宏微复合压电平台!

压电平台的特点是纳米级高分辨率、毫秒至亚毫秒级响应速度、纳米级定位精度等,因此它非常适于快速、精准的位置调节应用,如样品的显微聚焦、微结构的超精密加工、光路的调整、毫牛级力的控制、图像的稳定及分辨率增强、白光干涉等等。

压电平台的位移一般在几百微米至毫米范围,而在很多应用场景中,都需要宏动平台(毫米级行程的手调台、电动台等)的辅助,在进行大范围的粗调后,再通过压电平台进行纳米级精确调节。

针对该类要求,芯明天提供定制化集成手调平台或电动平台的压电平台,从而既可完成位置的粗调,又可完成纳米级精度的精调。下图所示,为一款定制型宏微复合压电平台,集成手调台的压电平台。

该款宏微复合压电平台的粗调为XY方向,每轴行程为13mm,读数精度为10μm;压电平台精调部分的行程为100μm,精调分辨率达7nm,并且压电部分配有位置传感器,定位精度非常高。

详细参数如下。

粗调运动自由度:XY

粗调行程范围:13mm/轴

粗调读数精度:10μm

精调运动自由度:Z

精调行程范围:100μm

传感器类型:SGS

闭环分辨率:7nm

闭环线性度:0.2%F.S.

重复定位精度:0.1%F.S.

承载能力:300g

通孔尺寸:φ48mm

  • 发表于:
  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20190921A03ZC700?refer=cp_1026
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