捷佳伟创子公司光掩膜清洗设备量产交付 关键零部件国产化率超80%

观点网讯：近日，捷佳伟创子公司创微微电子（常州）有限公司自主研发的光掩模清洗设备在多家终端Fab厂完成验证并实现量产交付。

该设备在颗粒控制、无水痕、表面洁净度上均满足先进制程要求。

在光掩膜清洗领域，创微微电子已形成完整产品矩阵，覆盖5英寸至9英寸多种尺寸石英光掩膜，支持前后面全自动清洗、可选AOI颗粒检测、SMIF自动上下料。

关键零部件国产化率超80%，软件完全自主开发。

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