中国半导体产业再添发展底气！国产芯片刻刀6N高纯氟化氢实现量产

【太平洋科技快讯】据报道，7月19日滨化集团举办电子级高纯氟化氢投产暨新产品发布会，旗下子公司大晟芯材实现6N级高纯氟化氢规模化量产。产品各项核心指标对标国际头部厂商，补齐山东省本地高纯氟化氢产能缺口，进一步完善国内先进制程芯片国产化供应链。

高纯氟化氢是芯片蚀刻、晶圆清洗工序刚需电子特气，是半导体制造产业的“化学雕刻刀”。其中纯度达6N(99.9999%)的高纯氟化氢，是28nm及以下先进芯片产线必备原料。长期以来该品类核心技术由海外厂商把持，海外企业占据全球约八成市场份额，国内量产产品大多仅达到5N(99.999%)纯度，微量杂质差异直接影响国产芯片良率，属于半导体典型卡脖子材料，当前市场单价超200万元每吨。

此次量产的高纯氟化氢是滨化首款落地电子特气产品，金属离子杂质控制在1ppb以内，达到国际同等标准。滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾解释，纯度多一位数字对芯片制造意义重大，生产环节金属杂质仅提升数ppb，就会造成芯片成品率明显下滑。

该成果并非单一工艺突破，而是覆盖生产、储运、检测全链条的系统性技术攻关。企业先后攻克多重精馏耦合、低析出设备选材、洁净钢瓶防护、微量杂质高精度检测四项核心技术，全程规避各环节二次污染，稳定将杂质指标控制在标准区间。

滨化建成年产能50吨高纯氟化氢钢瓶充装产线，7月16日已取得山东特检院气瓶充装许可，打通研发、量产、充装、对外供货完整产业化链路。现阶段企业已面向国内半导体头部厂商开展试样推广。高纯度电子特气具备高附加值，该项目落地也将带动区域传统化工产业向高端电子材料赛道升级。