什么是半导体高纯气体过滤器?
半导体高纯气体过滤器,是专门针对超洁净气体环境设计的一类高精度过滤设备。
标准气体芯式过滤器设备
高纯气体过滤器的核心目标是:
对微纳米级颗粒进行高效拦截,确保工艺气体洁净稳定。
相比普通工业过滤器,高纯气体过滤器具备:
超高过滤精度
针对微米甚至纳米级颗粒实现高效去除能力,满足超洁净生产要求。
超纯气体过滤与分离
超低析出与污染风险
过滤材料要求洁净度高,不释放杂质,不影响气体纯度。
耐高压、耐腐蚀
能够适应高纯气体系统复杂运行环境,满足长期稳定工作需求。
高可靠性密封结构
减少泄漏风险,确保气体系统安全稳定运行。
高压其他过滤器设备
伊诺特 SGA-D 系列高压过滤器的工作压力范围为25–400bar,并在该范围内取得了安全性和可靠性。 与过滤器行业的其它产品相比,D系列高压过滤器为高压运行系统提供了相当的技术和经济优势。