高创 smartPX&PH3，用硬核技术撑起晶圆高效传送的底气

在现代化半导体晶圆厂（FAB）这座庞大的“芯片城市”中，空中轨道上飞驰的天车搬运系统如同高效运转的“智能交通网”。OHT如何实现晶圆在数百道工序间高效、平稳、无损的空中传送？其背后离不开一套强大而智慧的驱动核心。

天车OHT的核心挑战

1.空间极限：天车小车内部结构紧凑，需在有限空间内最大化装载量，驱动与电机必须小而强、轻而劲。

2.稳定可靠：晶圆价值昂贵，任何系统抖动或突发停机都可能造成巨大损失。伺服系统必须极致平稳，坚若磐石。

3.智能易用：复杂的产线要求系统能够快速调试、智能适应不同工况，降低对调试人员的技术依赖。

高创黄金组合--smartPX&PH3

面对挑战，高创的smartPX多合一驱动一体机与PH3伺服电机并非简单的部件叠加，而是深度协同、性能互补的一体化解决方案，为OHT带来全方位的性能跃升。

优势一：极致紧凑，释放天车内部空间

高度集成：smartPX以六轴一体的驱动设计，取代传统的多个独立驱动器，极大简化电气结构，节省宝贵空间。

轻量强劲：PH3电机在紧凑的结构下，蕴藏强劲动力。两者结合，完美满足了天车对“小体积、大能量”的苛刻要求，为增加装载量提供了硬件基础。

优势二：极致平稳，守护每一片珍贵晶圆

智能抑振：smartPX内置多种先进抑振技术，能有效抑制机械共振；其输入整形滤波功能，能完美消除天车启停及加减速过程中的末端机械抖动，确保晶圆在高速运行中“稳如泰山”。

动力保障：PH3电机在额定3000rpm内可提供高达3.77倍的过载转矩，应对突发负载；同时在高速区间（最高7000RPM）仍能提供至少1倍的额定转矩，保障直线疾驰与弯道平稳的顺畅切换。

低温可靠：PH3电机在额定工况下，机壳温升不高于60K，散热优异，稳定耐用，从根源上避免了因过热导致的报警停机，为实现“零损传输”保驾护航。

优势三：极致智能，赋能高效部署与运维

一键自整定：smartPX搭配PH3电机，可通过一键自整定功能，快速实现最优控制参数匹配，将复杂的调试过程极致简化，大幅缩短设备上市时间。

自适应控制：方案支持搭配增益表，能针对天车的直线高速、弯道低速等不同工况，自动切换控制参数，实现全程自适应的高性能控制。

摩檫力补偿：smartPX的摩檫力自动补偿功能，能克服系统非线性因素，确保在任何点位都能实现精准的定位与平滑的速度控制。

在半导体制造这片精密的疆域，每一个细节都决定着最终的成败。高创运动控制提供的smartPX&PH3一体化解决方案，以其高度集成、卓越性能、极致稳定和智能易用的协同优势，成功化解了天车OHT系统的核心痛点，成为了半导体晶圆空中高速传送的可靠基石。