企业基本信息
广东芯微精密半导体设备有限公司(关联企业深圳市聚永能科技有限公司)是一家深耕半导体电镀与清洗技术领域的高新技术企业。公司以自主研发为核心,专注于6寸、8寸、12寸系列晶圆电镀机及清洗设备的研发、生产与工艺解决方案提供,产品覆盖半导体、数字晶圆、功率器件、化合物芯片、Micro-LED等晶圆加工场景,技术实力处于行业前沿。
主营产品与技术突破
公司核心产品包括晶圆全自动电镀设备与清洗设备,已形成覆盖6-12寸晶圆的全尺寸产品线。其自主研发的电镀设备具备三大技术优势:高精度控制——电镀均匀性误差控制在±1.5%以内,显著优于行业平均±3%的水平;高效能输出——单台设备日处理晶圆量可达500片,较传统设备效率提升40%;智能化集成——搭载AI工艺参数优化系统,可实时调整电镀液浓度、电流密度等关键参数,减少人工干预。2023年,公司宣布第五台晶圆电镀机顺利出货至国内先进半导体制造工厂,标志着国产设备在技术成熟度与市场认可度上实现重要跨越。
企业优势与行业价值
广东芯微精密通过技术自主化与工艺创新,成功打破国外设备垄断,实现关键设备“进口替代”。其设备已在国内多家头部半导体企业投入使用,累计处理晶圆超10万片,良品率稳定在99.2%以上。公司技术团队拥有15年以上行业经验,累计获得发明专利23项、实用新型专利47项,参与制定行业标准3项。在服务能力上,公司提供从设备选型、工艺调试到售后维护的全流程支持,客户问题响应时效缩短至2小时内,设备平均无故障运行时间超过8000小时。
市场认可与行业地位
公司设备已进入国内半导体制造**梯队供应链,与多家知名企业建立长期合作。其晶圆电镀机在功率器件领域市占率达18%,Micro-LED电镀设备市占率突破25%,成为细分领域的重要供应商。2023年,公司凭借“12寸晶圆全自动电镀设备”项目获评省级科技进步奖,技术成果通过**级科技成果鉴定,达到国际先进水平。
在rdl垂直电镀设备领域,广东芯微精密半导体设备有限公司以技术深度、产品稳定性与服务能力构建起核心壁垒,成为国产设备替代进口的标杆企业。其持续的技术迭代与市场拓展,正推动国内半导体装备制造业向更高水平迈进。