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晶圆制备为何要掺杂?关键在这

提到晶圆制备,“掺杂” 是绕不开的核心步骤。很多人会好奇:明明要追求高纯度的单晶硅晶圆,为什么还要特意加入其他元素?其实,掺杂不仅不是 “破坏纯度”,反而是让晶圆拥有 “导电能力”、能制造芯片的关键。

要理解掺杂的必要性,得先从单晶硅本身的特性说起。高纯度的单晶硅是 “本征半导体”,其原子最外层有 4 个电子,原子间通过共价键紧密结合,电子被牢牢束缚,几乎没有自由移动的电荷。这就导致本征半导体在常温下导电能力极差,既不能有效传导电流,也无法实现 “控制电流” 的功能 —— 而芯片的核心需求,正是对电流的精准控制(比如开关、放大信号)。

因此,掺杂的核心目的就是通过加入微量杂质元素,改变单晶硅的电荷分布,让它从 “不导电” 的本征半导体,变成能精准控制电流的 “杂质半导体”。根据加入杂质的不同,掺杂后会形成两种关键的半导体类型:

第一种是 N 型半导体。当在单晶硅中掺入磷、砷等 “5 价元素” 时,杂质原子最外层有 5 个电子 —— 其中 4 个会与周围硅原子形成共价键,多余的 1 个电子会脱离束缚,成为自由移动的 “自由电子”。这些自由电子能轻松传导电流,让半导体具备导电能力,由于主要依靠电子导电,这类半导体被称为 N 型半导体(“N” 即 Negative,代表负电荷)。

第二种是 P 型半导体。若掺入硼、铝等 “3 价元素”,杂质原子最外层只有 3 个电子,与硅原子形成共价键时会少 1 个电子,形成一个 “空穴”(可理解为 “缺少电子的空位”)。相邻硅原子的电子会填补这些空穴,而空穴也会随之移动,相当于正电荷在传导,这类依靠空穴导电的半导体就是 P 型半导体(“P” 即 Positive,代表正电荷)。

这两种半导体的组合,是芯片实现功能的基础。比如芯片中最核心的 “PN 结”,就是由 N 型半导体和 P 型半导体紧密结合形成的。当在 PN 结两端加正向电压时,电流能顺利通过(相当于 “开关闭合”);加反向电压时,电流几乎无法通过(相当于 “开关断开”)—— 正是利用 PN 结的这种特性,才能制造出二极管、三极管、MOS 管等基础器件,进而组成复杂的电路,实现运算、存储、信号处理等芯片功能。

需要注意的是,掺杂对 “精度” 要求极高:杂质元素的含量通常控制在百万分之一到十亿分之一,且分布要均匀,若杂质过多或分布不均,会导致半导体性能不稳定,甚至让芯片失效。因此,晶圆掺杂会采用离子注入、扩散等高精度工艺,确保杂质能精准融入单晶硅中。

简单来说,没有掺杂,单晶硅只是一块 “没用的硅片”;有了掺杂,它才能变成具备导电可控性的 “半导体材料”,最终支撑起整个芯片产业的运转。

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