俄歇电子能谱

设备图片

01

主要配置

Ø 配备肖特基场发射电子枪

Ø 俄歇电子能量分析器类型：同轴筒镜式能量分析器（CMA）和电子枪同轴设计

Ø 真空传送管

Ø 全自动 5 轴样品台：X、 Y、 Z 方向移动，旋转及倾斜，系统软件控制

Ø Ar 离子刻蚀枪

02

主要指标

Ø SE电子成像系统能量范围：0.1 – 25 keV

Ø 二次电子图像放大倍率：45 X (3 kV) – 1000000X

Ø 电子能量侦测范围：30 – 2400 eV

Ø 俄歇元素灵敏度（Cu LMM）（0.5% 分析器能量分辨率）：99 kcps

@ 1 nA, 10 kV；975 kcps @ 10 nA, 10 kV

Ø 俄歇元素灵敏度（Cu LMM）（0.1% 分析器能量分辨率）：

175 kcps @ 10 nA, 10 kV

Ø Ar-氩离子枪能量范围：0 – 5kV

Ø 溅射最大电流及电流密度：17 μA @ 5 kV，3.62 mA/cm2@ 5 kV

03

特色能力

作者：米格小编；米格全球共享实验室