北方华创申请进气组件及半导体工艺设备专利，能够解决当前设备气体分布不均匀等问题

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“进气组件及半导体工艺设备”的专利，公开号CN 120608911 A，申请日期为2024年03月。

专利摘要显示，本申请公开了一种进气组件及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种进气组件，包括：进气环结构和挡环结构；进气环结构包括环形的主体部，主体部的端面设有环形的凹槽；主体部内还设有与凹槽连通的进气通道；挡环结构包括环形的第一挡板和环形的第二挡板；第一挡板固定在主体部上；第二挡板位于第一挡板面向凹槽的一侧，将凹槽内的空间分割成第一环形腔和第二环形腔；第二挡板上设置有多个第一匀气孔，第一环形腔和第二环形腔通过多个第一匀气孔连通；进气通道与第一环形腔连通，进气环结构还设置有多个第二匀气孔，第二环形腔通过多个第二匀气孔与反应空间连通。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1124次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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来源：市场资讯