江苏微导纳米申请沉积设备和沉积方法专利，改善沉积设备的镀膜质量

国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“沉积设备和沉积方法”的专利，公开号 CN 120608272 A，申请日期为 2025 年 06 月。

专利摘要显示，本申请公开了沉积设备和沉积方法。沉积设备包括外壳、内壳、承载支架和出气组件。内壳设置于外壳的内部，内壳与外壳之间形成有外腔，内壳内部形成有内腔。承载支架包括支撑轴，支撑轴部分位于内腔部分位于外腔。出气组件设置于外腔，用于控制外腔的压力。其中，内壳设置有让位孔，支撑轴穿设让位孔，让位孔连通外腔和内腔。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本45767.8129万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息540条，此外企业还拥有行政许可68个。

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来源：市场资讯