国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“残留膜检查系统”的专利,公开号CN120609787A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,残留膜检查系统包括:检查对象物、台、光源和控制器。检查对象物包括:衬底,限定有布置透明膜的第一区域、不布置透明膜的第三区域、以及第一区域与第三区域之间的第二区域;第一导电层,布置在衬底上;以及透明膜,布置在第一导电层上,以与第一导电层的一部分重叠。检查对象物放置在台上。控制器将光束入射到第一位置,并接收来自第一位置的反射光,以获得第一位置的第一反射率,以及将光束入射到第二位置,并接收来自第二位置的反射光,以获得第二位置的第二反射率,并且计算第一反射率及第二反射率的差异,从而判别在第一位置的透明膜的有无。
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