LED的TEM分析

透射电子显微镜TEM在LED芯片研究中可以提供有关LED芯片结构、膜层厚度、位错缺陷等方面的详细信息。

电极结构是为了让电流顺利流向发光区，不同电极材料结构同样影响着芯片的光电性能，如Cr因优良的粘附性常用做与p-GaN的接触层，Al具有高反射率，增加芯片的出光量，Ti/Pt作为阻挡层防止Au扩散高活泼性的Al层，Au优良的导电性作为表层等。

一、TEM 不同扫描模式的作用

TEM线扫提供沿着一条线的元素分布信息，得到线上不同位置的元素种类和相对含量（at%和wt%），提供详细的产品结构信息，为后续工艺优化或产品结构设计提供参照。

点扫用于获取感兴趣的局部区域（或精确的某个特定位置）的元素种类和相对含量信息。

在面扫模式下，面扫可以获取整个区域的元素分布信息，直观呈现不同区域各元素的分布与扩散情况。

二、TEM 在 LED 外延结构分析中的优势

TEM因其具有非常高分辨率，在LED芯片外延结构分析上具有独到的优势。

弱束暗场像WBDF常用与对外延位错的表征，分析位错类型，结合腐蚀坑密度的方法，对外延位错密度进行评估与表征。

g=0002 螺位错观察

g=11-20刃位错观察