世界首台，国镜仪器自主研发的台式冷场扫描电子显微镜在合肥发布

IT之家 10 月 20 日消息，据科大硅谷，其招引企业合肥国镜仪器科技有限公司发布了自主研发的世界首台冷场台式电镜，标志着国内冷场扫描电镜领域实现了零的突破。

▲ 图源科大硅谷，下同

IT之家获悉，冷场电子光学技术相对于热发射和热场技术，具有高亮度、低色差等优点，然而通常也需要更高的真空要求（10-9Pa）和较高的引出电压（6-8kV），目前为海外少数企业所掌握。

扫描电子显微镜（SEM）作为高端仪器装备，是纳米尺度下微观检测的核心主力仪器，被广泛应用于高校科研、工业检测等高端研究应用领域，对新材料、新能源等强依赖纳米尺度技术发展的产业方向有极其重要的支撑和推动作用。

▲ 产品拍摄样片

此次发布的冷场电镜产品（MicroST DCF-100），以冷场电子发射技术和电子光学控制技术为核心，配套信号检测分析技术、真空腔体设计技术等多项国镜独有的关键技术，具备超高分辨率、高亮度、小交叉斑直径、低能量色散等特性，在低加速电压下相比传统产品有更好的性能表现。