键德测试测量|高低温探针台有哪些分类？

高低温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，主要用于测试不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。根据功能和应用领域的不同，高低温探针台可以分为多种类型，包括但不限于：

真空高低温探针台：真空高低温探针台可以在真空环境下进行高低温测试，适用于对材料在真空条件下的电学性能进行表征和测量。其温度范围一般从液氦温度(约4K)到高温(如475K)，并且具有高精度的温度控制和稳定性。

射频高低温探针台：射频高低温探针台可以在高低温条件下进行射频测试，适用于对半导体器件的射频特性进行表征。其温度范围和温度控制精度与真空高低温探针台相似，但还具备射频测试功能，可以对器件的射频参数进行测量。

光学高低温探针台：光学高低温探针台结合了光学显微镜和高低温测试功能，可以在高低温条件下对样品的微观结构进行观察和电学性能测试。其温度范围和温度控制精度与其他类型的高低温探针台相似，但还具备高分辨率的光学显微镜，可以对样品进行微米级别的观察。

以上关于高低温探针台的分类就为大家分享到这里，在选择高低温探针台时，需要根据具体的应用需求和测试要求来选择合适的类型。