海目星首条 Micro LED 中试线顺利出货，制程良率达 99.99% 以上

IT之家 8 月 1 日消息，IT之家从海目星官方公众号获悉，其首条 Micro LED 中试线顺利出货，涵盖 Micro LED 巨量转移、Micro LED 巨量焊接、Micro LED 激光修复等设备，并已完成厂内 FAT 验收，产线效率达 25-100kk / h，制程良率达 99.99% 以上，实现≤50μm 的 Micro LED 芯片应用要求。

▲ Micro LED 激光巨量转移方案

Micro LED 芯片巨量转移 / 单点修复转移解决方案全段采用模块化兼容设计，配合智能去除修复设备，实现整段制造流程整合，具有量产化的生产优势。

▲ Micro LED 激光巨量焊接方案

海目星应用匀化达 95% 以上的红外光源，搭配高精度温控系统、快速视觉对位与自研 AI 演算法实现大面积、高效率、高可靠性的芯⽚的巨量键合。

目前 Micro LED 巨量焊接设备已实现 12 英寸以上基板 RGB 三色焊接工艺，良率至高达 99.99% 以上 (排除来料芯片等异常)。

▲ Micro LED 激光巨量修复方案

针对 Micro LED 制程中产生的缺陷，海目星进行胶层、芯片去除与平面度达百纳米级的焊盘修整，以利后续修补制程。经过该设备修整之后，配合后续的补芯与焊接制程，面板点亮良率可达到 99.9999%。