捷佳伟创：子公司中标客户半导体碳化硅整线湿法设备订单

e公司讯，近日，捷佳伟创子公司创微微电子（常州）有限公司（简称：创微微电子）斩获一家半导体头部企业整线湿法设备订单，目前已完成合同签订工作。此次签订的合同标的位于该客户新产业园的碳化硅产线，交付的机台数量多达18台（套），可覆盖碳化硅器件刻蚀清洗全段工艺。其中包含创微微电子全新研发的Swing-type Dry干燥设备，该设备可同时兼容6/8吋产线，极大地提升了设备开发效率。同时也再次巩固了创微微电子6/8吋槽式及单片全自动湿法刻蚀清洗设备替代进口设备的能力。