纳米压印技术包含图形压印和图形转移两步,利用电子衍射实现高分辨率,成本仅为传统光刻技术的60%,耗电量仅为10%,工艺精度可达2nm。该技术使得芯片上能承载更多晶体管,提高设备性能,减少能耗,被广泛应用于手机芯片和电脑显卡等领域。然而,纳米压印技术对环境要求高,良品率不足60%,存在胶压不均匀和底胶残留等问题,不能完全取代光刻机。
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