拓荆科技(688072.SH)：目前公司PECVD、ALD 、SACVD、HDPCVD及混合键合设备均已实现产业化
格隆汇1月19日丨拓荆科技(688072.SH)在互动平台表示，公司半导体设备产品主要包括PECVD、ALD 、SACVD、HDPCVD等薄膜沉积设备和应用于三维集成领域的混合键合设备，目前公司PECVD、ALD 、SACVD、HDPCVD及混合键合设备均已实现产业化，并持续拓展工艺，陆续通过客户端的产业化验证，不断扩大量产规模。公司在客户端业务进展顺利，尚未受到相关影响，公司将密切关注行业动态。
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