日本巨头官宣全新光刻机,精度小于2.1nm,能供货中国吗?
ASML是世界上最大的光刻公司之一,几乎垄断了世界上80%的光刻市场,并且垄断了100%的EUV光刻技术。不过ASML并不是唯一一个生产光刻机的国家,日本在光刻机方面,也是相当强大的。日本尼康公司推出一款新型光刻机,其精度在2.1nm以下,这些光刻机能否被运往中国?
尼康正式推出其新光刻技术
光刻机是微电子电路制造的核心元件,ASML作为全球光刻机的领导者,占据着全球市场的主导地位。
ASML公司的光刻机在半导体工业中得到了广泛的应用,为众多芯片生产商提供了高精度和高性能的解决方案。ASML的光刻机虽然性能不错,但也不是随随便便就能生产出来的。高端EUV光刻机已经缺货很多年了,到现在都还没有量产。
此外,荷兰还盯上了深紫外光刻机,以制订适当的运输规则,未来可能会限制低端光刻机的出货。对于日本光刻机生产商而言,这是一次机遇,因为它们属于低端产品,日本的光刻机也能达到同样的要求。
尼康看出了其中的商机,20多年之后,又推出了一款新的相机。据尼康官方公布,其新光刻型号为NSR-S636E,采用浸入式ArF光刻机。
在结构细节上,这款光刻机使用了改良的iAS设计,其动量叠加精度优于2.1纳米。相较于其它尼康的光刻设备,产能提升10%到15%,也就是每小时可以生产280片晶片。
NSR-S636E在三维快闪记忆体,CMOS影像感测器,以及高级逻辑与记忆体晶片上,显示出高效能。ArF浸入式光刻技术虽非先进光源,却能改善光刻的分辨率及图形的精确度,让晶片制造商可以制造出更小更密实的晶片结构。
它可以供应给中国吗?
明年一月,尼康将正式发布一款新型光刻机,而尼康的相关官员也透露了相关的参数。据预测,该公司在低端和低端芯片的制造领域有很大的发展空间。这台光刻机能送到中国吗?
值得一提的是,七月二十三日日、美、荷三国达成一项协议,日本针对包括光刻机在内的23种半导体设备出口管制规定。
不过,新规定并没有对将来的光刻机进行出口限制,也就是说,从理论上讲,尼康的NSR-S636E光刻设备不会受到管制。
既然ASML的深紫外光刻设备已经能够运到,那么日本没有理由对本国公司设置障碍。失去中国市场不会给日本带来什么好处。
当然,这仅仅是一种理论,实际上很难说日本不会成为众矢之的。只有等到明年,尼康发布了新型光刻设备,加入中国市场,我们才能知道答案。
咱们不能寄希望于别人,我们自己研究出来的光刻机技术,可不能落下。只有掌握了基础技术,才有可能在市场上生存下去。
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