格隆汇12月21日丨盛美上海(688082.SH)披露投资者关系活动记录表显示,PECVD设备有1台即将送入客户端,明年,公司PECVD设备预计有多家客户,其中有存储客户、也有逻辑客户。公司PECVD设备具备完全自主的知识产权,具备差异化技术路线。无论国内及国际市场,客户都需要具备差异化技术的设备,只有具备差异化技术,才能够和全球第一梯队的企业比肩前行。
公司Track设备目前在客户端验证进展顺利,预计在明年年中有望完成与光刻机的对接工艺测试;此外,公司也在不断拓展新客户,目前有多家客户在洽谈。明年公司将聚焦KrF设备进入市场,同时公司也将研发浸没式ArF设备。
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