Imec和三井化学签署战略合作协议！将用于EUV光刻的CNT薄膜技术商业化

CINNO Research产业资讯，2023年12月14日，全球领先的纳米电子、数字技术研究和创新中心Imec与日本领先的化学公司和EUV薄膜供应商三井化学今天宣布，开始就极紫外光刻用碳纳米管（CNT）基薄膜（Pellicle）的商业化建立战略合作伙伴关系。根据这一合作伙伴关系，三井化学将把imec的碳纳米管基薄膜创新地整合到其现有碳纳米管薄膜技术中，以建立完整的生产规格。这一合作的目标是在2025-2026年将其用于大功率EUV系统的制造中，双方的签约仪式在东京举行的Semicon Japan 2023上举行。

据介绍，合作伙伴双方计划通过相关咨询和imec的EUV扫描设备验证，共同开发EUV薄膜，以便在三井化学公司进行商业化。这种薄膜可以保护光掩模在EUV曝光过程中免受污染，它具有极高的EUV透射率（≥94%）、极低的EUV反射率和最小的光学影响——这些是先进半导体制造工艺中实现高产量和高良率生产的关键特性。CNT薄膜能够承受超过1kW的EUV功率水平，能够支持实现未来EUV光源的目标功率（>600W）。鉴于这些优势，这种碳纳米管基薄膜，引起了众多希望在其大批量制造过程中使用EUV光刻技术的公司的强烈兴趣。在这样的市场背景下，上述合作伙伴双方希望通过共同开发适合行业的CNT薄膜，以满足市场需求。

“Imec在支持半导体生态系统推进光刻技术发展方面有着悠久的历史。自2015年以来，我们与整个供应链的合作伙伴合作，开发了一种创新的基于CNT的薄膜设计，用于先进的EUV光刻，”Imec高级图案化、工艺和材料高级副总裁Steven Scheer表示：“我们相信，公司对CNT膜的测量、表征和参数性能方面的深入了解将加速三井化学的产品开发。我们希望共同将CNT膜投入商业生产，用于未来几代EUV光刻系统的构建。”

从上述光刻技术的路线图看出，市场预计在2025-2026年会推出新的薄膜，即下一代ASML 0.33NA EUV光刻系统，支持600W及更高功率水平的光源。该时间与超过2nm逻辑技术节点的插入相关联。

Imec是全球领先的纳米电子、数字技术研究和创新中心。该研究中心利用其最先进的研发基础设施及其5500多名员工和顶尖研究人员的团队。除了先进半导体、硅光子学、人工智能、5G通信和传感技术之外，他们还致力于健康和生命科学、移动、工业4.0、农产品、智能城市、可持续能源等众多应用领域的研发。Imec将半导体价值链、佛兰德斯和国际科技、制药、医疗和ICT公司、初创企业、学术界和知识中心的世界行业领导者团结在一起。Imec的总部位于鲁汶（比利时），在比利时、荷兰和美国设有研究机构，并在三大洲设有代表处。2022年，imec的收入（P&L）总计8.46亿欧元。

关于三井化学

三井化学的起源可以追溯到1912年，当时该公司最先在日本开始用煤气副产品生产化肥原材料。这项事业大大提高了农业生产力，它是当时的一个主要社会问题。后来，该公司将其技术从煤化工发展到天然气化工，并于1958年建造了日本第一个石化联合企业，从而为日本工业的快速发展提供了动力。如今，该公司拥有许多世界级的产品，销售额超过16000亿日元，在30个国家拥有160多家公司。其业务组合包括生命与医疗保健解决方案、移动解决方案、ICT解决方案、基础与绿色材料。

全球高机能薄膜市场分析与预测报告大纲

第一章：全球高机能薄膜产业概述

一、高机能薄膜分类及定义

1.新型显示用高机能薄膜介绍

2.新能源用高机能薄膜介绍

3.其他高机能薄膜介绍

二、全球高机能薄膜产业链及市场概述

1.全球新型显示用高机能薄膜产业链及市场概述

2.全球新能源用高机能薄膜产业链及市场概述

3.全球其他高机能薄膜产业链及市场概述

第二章：全球新型显示用高机能薄膜市场分析与预测

一、全球新型显示用高机能薄膜技术发展现状

1.全球新型显示用反射膜技术发展现状

2.全球新型显示用扩散膜技术发展现状

3.全球新型显示用增亮膜技术发展现状

4.全球新型显示用复合膜技术发展现状

5.全球新型显示用偏光片技术发展现状

6.全球新型显示用量子点膜技术发展现状

二、全球新型显示用高机能薄膜产能分析与预测

1.全球新型显示用反射膜产能分析与预测

2.全球新型显示用扩散膜产能分析与预测

3.全球新型显示用增亮膜产能分析与预测

4.全球新型显示用复合膜产能分析与预测

5.全球新型显示用偏光片产能分析与预测

6.全球新型显示用量子点膜产能分析与预测

三、全球新型显示用高机能薄膜市场规模分析与预测

1.全球新型显示用反射膜市场规模分析与预测

2.全球新型显示用扩散膜市场规模分析与预测

3.全球新型显示用增亮膜市场规模分析与预测

4.全球新型显示用复合膜市场规模分析与预测

5.全球新型显示用偏光片市场规模分析与预测

6.全球新型显示用量子点膜市场规模分析与预测

第三章：全球新能源用高机能薄膜市场分析与预测

一、全球新能源用高机能薄膜技术发展现状

1.全球新能源用隔膜技术发展现状

2.全球新能源用铝塑膜技术发展现状

3.全球新能源用复合集流体技术发展现状

4.全球新能源用光伏胶膜技术发展现状

5.全球新能源用光伏背板技术发展现状

6.全球新能源用质子交换膜技术发展现状

二、全球新能源用高机能薄膜产能分析与预测

1.全球新能源用隔膜产能分析与预测

2.全球新能源用铝塑膜产能分析与预测

3.全球新能源用复合集流体产能分析与预测

4.全球新能源用光伏胶膜产能分析与预测

5.全球新能源用光伏背板产能分析与预测

6.全球新能源用质子交换膜产能分析与预测

三、全球新能源用高机能薄膜市场规模分析与预测

1.全球新能源用隔膜市场规模分析与预测

2.全球新能源用铝塑膜市场规模分析与预测

3.全球新能源用复合集流体市场规模分析与预测

4.全球新能源用光伏胶膜市场规模分析与预测

5.全球新能源用光伏背板市场规模分析与预测

6.全球新能源用质子交换膜市场规模分析与预测

第四章：全球新型显示终端市场分析与预测

一、全球新型显示终端市场概述

二、全球新型显示终端市场规模分析与预测

1.全球电视市场规模分析与预测

2.全球智能手机市场规模分析与预测

3.全球平板电脑市场规模分析与预测

4.全球笔记本电脑市场规模分析与预测

5.全球车载显示市场规模分析与预测

6.全球可穿戴显示市场规模分析与预测

三、全球新型显示终端市场主要厂商介绍

第五章：全球新能源终端市场分析与预测

一、全球新能源终端市场概述

二、全球新能源终端市场规模分析与预测

1.全球锂电市场规模分析与预测

2.全球光伏市场规模分析与预测

3.全球氢能市场规模分析与预测

三、全球新能源终端市场主要厂商介绍

第六章：全球高机能薄膜产业竞争格局分析

一、全球高机能薄膜主要厂商介绍

1.全球新型显示用高机能薄膜主要厂商介绍

2.全球新能源用高机能薄膜主要厂商介绍

3.全球其他高机能薄膜主要厂商介绍

二、全球高机能薄膜知识产权竞争格局分析

1.全球新型显示用高机能薄膜知识产权竞争格局分析

2.全球新能源用高机能薄膜知识产权竞争格局分析

3.全球其他高机能薄膜知识产权竞争格局分析

三、全球高机能薄膜产业竞争格局综述及发展趋势展望