随着每一代集成电路技术的发展,清洗液都需要进行针对性的创新。首先是溶剂型光刻胶去除剂,其次是胺基(羟胺基)刻蚀后清洗液,半水性刻蚀后清洗液,再到现如今的水性刻蚀后清洗液。在铜抛光后清洗液方面,从酸性发展到碱性体系,从含TMAH到无TMAH体系。
安集科技刻蚀后清洗液从2007年开始量产,提供胺基刻蚀后清洗液、半水性刻蚀后清洗液及水性刻蚀后清洗液解决方案;抛光后清洗液在2015年就已经量产,现在碱性体系中的重要客户也已有供应。安集科技提供一系列电镀液及添加剂,包括集成电路大马士革工艺铜电镀液及添加剂、先进封装铜、镍、锡银电镀液及其添加剂,进一步支持我国集成电路产业发展。
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