荷兰ASML的话语权
荷兰ASML是全球领先的光刻机设备制造商,该公司拥有EUV光刻机量产能力,是全球半导体产业中的重要公司。然而由于美国的芯片规定和《瓦森纳协定》,荷兰ASML对中企交付光刻机存在一定限制。但在2022年初时,荷兰ASML总裁表态,表示DUV光刻系统能够向中企交付且不受规定影响。同时,该公司的首席执行官也表态称,中企开发替代技术是合情合理的,ASML不能放弃中国市场。
近期,有消息称中芯国际成功中标荷兰ASML的6台光刻机,其中4台KrF激光加工机,2台ArF激光加工机。未来,这些设备将主要用于投产成熟制程工艺的芯片。同时,据了解,荷兰ASML预计今年将向中国客户交付100台光刻机,其中包括约60台高端光刻机(ArFi设备),以及40台KrF设备。
中芯国际稳了
中芯国际是中国大陆规模最大的集成电路晶圆代工厂,早前曾经向ASML采购EUV光刻机,但由于美方的干涉以及《瓦森纳协定》的影响,没有完成最终环节的交付。然而,在荷兰ASML进行表态之后,国内芯片厂就传出了好消息:一次性中标6台光刻机,3台光刻机传出完成交付的消息。这是中芯国际稳定其生产线所做出的重大举措。中芯国际采用高度自主的策略,进行完整的晶圆代工制造流程,从IC设计到出货,除了少数芯片外,绝大部分工艺流程完全完成于中国内地。
先进光刻机的发展
华为等科技公司,也开始着手解决芯片“卡脖子”的技术难题。通过对工艺、方案、材料的创新,来解决芯片制造受制于设备的难题。比如,华为公布的芯片叠加方案,国内成立的小芯片联盟,都是为了推动国内芯片产业的高质量发展,摆脱对外部芯片设备的过度依赖。国产先进光刻机的发展需要时间,但目前来看,成熟制程工艺的本土化量产,已经没有太大问题,中芯国际扩产一事已经是稳了。未来,只待相关设备、工艺的供应,就可以生产7纳米等先进制程芯片。
自主研发深入推动技术升级
在荷兰ASML中标的6台光刻机中,有4台是KrF激光加工机,2台是ArF激光加工机,未来将主要被用于投产成熟制程工艺的芯片。同时,中芯国际开始发力先进制程工艺,在先进制程工艺方面投入更多的研发资金,积极推动技术创新和产品升级。目前,中芯国际在上海临港新片区建设的12英寸晶圆代工生产线项目,已经进入细节性工作阶段。在光刻机等芯片设备到位的情况之下,中芯国际就可以着手试产7纳米制程的芯片产品。
总结:当前环境下,中芯国际通过与荷兰ASML的合作成功完成一次性中标6台光刻机,其中4台KrF激光加工机,2台ArF激光加工机。中芯国际的自主研发深入推动技术升级,将投入更多资金到先进制程工艺研发中。与此同时,华为等科技公司也开始着手解决芯片“卡脖子”的技术难题,推动国内芯片产业的高质量发展。最终实现的目标是,摆脱对外部芯片设备的过度依赖,生产出更加先进的芯片产品。
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