国产探针台参数简介

原创 芯片失效分析 半导体工程师 2023-06-12 09:08 发表于北京

MS-4，4寸经济型探针台、薄膜探针台

4英寸载物台

载物台可微调升降

多种针座平台，可升级探针卡测试

兼容体视、单筒视频显微镜

载台X-Y轴精密丝杆滑台结构，微调精度优于10μm

高分辨率显微镜，大视场平焦

带拍照、录像、测量功能

卡盘可360°旋转及小角度微调

可升级高温载台

MT-150A，6寸气浮手动探针台

6英寸载物台

载物台可气浮式快速移动（采用 Air-Bearing Stage 技术）

针座平台可快速升降和微调升降

显微镜X-Y平移滑台同轴&单旋钮微调不用变换右手操作位置，显著缩小平移台体积

左右针座平台同步微调升降

样品保护功能，（探针平台&升降抬杆不先升起，气浮快速移动气路关闭，防误触），全面超越同类竞品

兼容单筒、视频、金相显微镜

带拍照、录像、测量功能

卡盘可旋转及角度微调，支持探针卡

MT-200A，8寸手动气浮探针台

8英寸载物台

载物台可气浮式快速移动（采用 无牙螺母气浮运动控制技术）

针座平台可快速升降和微调升降

兼容单筒、视频或金相显微镜

带拍照、录像、测量功能

卡盘可旋转及角度微调

T-300A，12寸气浮手动探针台

12英寸载物台

载物台可气浮式快速移动（采用 无牙螺母气浮运动控制技术）

针座平台可快速升降和微调升降

兼容单筒、视频或金相显微镜

带拍照、录像、测量功能

卡盘可旋转及角度微调

MHI-8/12，8-12寸手动探针台

12英寸载物台

载物台可气浮式快速移动（采用Air-Bearing Stage气浮运动控制技术）

针座平台可快速升降和微调升降

兼容单筒、视频或金相显微镜

带拍照、录像、测量功能

卡盘可旋转及角度微调

高低温/高温真空探针台

1-4英寸载物台

探针臂真空波纹管结构

探针臂可X-Y-Z微调

兼容单筒、视频或金相显微镜

载台温度范围：高温0-350℃/0-700℃/高低温-196℃-350℃可选

探针臂个数：4-6个

温控方式：PLC温控或PID温控

显微镜：单筒视频显微镜或体视显微镜

定制非标探针台

4-12英寸载物台

载物台可选气浮式快速移动，也可以采用丝杆滑台，行程可定制

针座平台可选用快速升降或微调升降

兼容单筒、视频或金相显微镜

带拍照、录像、测量功能

卡盘可旋转及角度微调

可集成光电测试设备、激光、PCB测试等

探针台配件

高精度探针座

直流探针夹具

大电压探针夹具

大电流分流探针

射频探针夹具

扩频安装模块

定制卡盘系统（三轴、同轴、高低温）

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