格隆汇6月2日丨微导纳米(688147.SH)2023年5月1日-5月31日接受机构调研、现场参观或召开业绩说明会等等,交流环节中,就“公司在半导体和光伏领域的产品布局如何?”,公司回复称,半导体领域,公司加速逻辑、存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等半导体各细分领域产品的产业化,针对各细分应用领域研发试制新型ALD设备,并进一步完善产品矩阵,开发CVD等产品,满足客户在各技术节点上对薄膜沉积设备的需求。公司已开发的ALD设备,适用于沉积各种氧化物和氮化物、互相掺杂沉积工艺等薄膜材料,可广泛应用于逻辑芯片、传统及新型存储芯片的电容介质层、高K栅介质覆盖层、掺杂介质层、芯片制造电极及阻挡层、化合物半导体钝化和过渡层、MEMS和CMOS芯片的多重图案化和间隔层等众多应用领域。
在光伏领域内,公司持续丰富产品线,提供ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种产品,推进实施AEP(ALD Enabled Photovoltaics)技术为核心的TOPCon电池工艺整线策略,提高公司产品在客户产线投资中的占比,为客户提供更为完整、高效、经济的薄膜沉积解决方案。2022年,由公司开发的行业内首条GW级TOPCon工艺整线项目已经取得客户的验收,实现产业化应用,并快速放量逐步成为行业主流电池技术。同期,公司已经出货了XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术相关产品,未来将进一步持续进行研发和投入,迭代发展升级,从而引领相关技术的产业化。
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