至纯科技拟在上海投建半导体电子化学品等项目

集微网消息，5月16日，上海化工区与上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”）签署投资意向协议。至纯科技拟在上海电子化学品专区投资建设半导体电子化学品、电子特气研发及产业化项目。

图源：上海化工区

至纯科技成立于2000年，致力于为集成电路及泛半导体产业客户提供制程设备、高纯工艺系统和相关电子材料及专业服务，是国内一线FAB厂的主要供应商。

自2020年底，上海化工区按照国家及市委、市政府对于集成电路产业发展的战略部署与整体要求，正式启动“上海电子化学品专区”建设，围绕光刻胶及配套材料、电子特气、湿电子化学品及CMP抛光材料等集成电路相关产品，全力打造电子化学品研发试验基地、生产基地以及物流存储基地。（校对/姜羽桐）