中微公司：EPI设备已进入样机的设计，制造和调试阶段

集微网消息，近日，有投资者在投资者互动平台提问：公司2022年年报披露已布局薄膜沉积领域中的EPI，能否详细介绍一下最新进展?

中微公司(688012.SH)4月24日在投资者互动平台表示，公司组建的EPI设备研发团队，通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈，已经形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。目前公司EPI设备已进入样机的设计，制造和调试阶段，以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。

截至发稿，中微公司市值为1154.82亿元，股价为187.15元/股，较前一日收盘价上涨1.71%。