九峰山实验室COO赵勇：打造开放平台培育创新沃土 争做行业“灯塔”

集微网报道 4月20日，“2023中国光谷九峰山论坛暨化合物半导体产业大会”在武汉光谷开幕。

此次大会以“攀峰聚智、芯动未来”为主题，邀请海内外院士专家、企业高管共800多位重量级嘉宾参加，其中包括众多从事全球半导体新材料、新工艺领域的顶级专家，尤其是碳化硅（SiC）等第三代化合物半导体领域泰斗。

会议期间，九峰山实验室首席运营官赵勇在接受集微网采访时表示，九峰山实验室将做好链接产业和科研的桥梁，打造开放共享的平台和创新培育的沃土，努力成为化合物半导体领域的“灯塔”。

九峰山实验室于2021年由湖北省人民政府正式批复组建，是9大湖北实验室之一。实验室面向世界科技前沿，面向国民经济主战场和国家重大需求，以建设先进的化合物半导体研发和创新中心为愿景，在中国光谷建立全球一流的化合物半导体工艺、检测基础设施。聚集世界各地人才，建设打造公共、开放、共享的科研平台。

截至目前，九峰山实验室已建成化合物半导体产业最先进、规模最大的科研及中试平台，包括9000平方米洁净室以及一流的化合物半导体工艺、检测、材料平台，4/6/8 inch工艺平台全兼容，化合物半导体材料设备全覆盖，可扩展下一代半导体设备能力。

在赵勇看来，九峰山实验室定位为链接产业和科研的桥梁。

“在硅基领域我们有一个很好的参考对象，就是该领域的灯塔——IMEC（比利时微电子研究中心），而在化合物半导体领域还缺乏这样的机构，我们希望打通化合物半导体基础研究、应用、材料、装备等全产业链，成为未来下一代技术的灯塔。”赵勇说。

据赵勇介绍，九峰山实验室规划建设三条中试线，并计划导入更多国产设备、材料，培养自己的工艺研发队伍。

今年3月，九峰山实验室工艺中心8英寸中试线正式通线运行，首批晶圆（高精密光栅）成功下线。这也标志着实验室8英寸0.15μm以上技术节点设备及工艺的全线打通，填补了国内高线密度、超高折射率、非周期性高精密光栅生产工艺空白。按照计划，今年6月份和10月份，将陆续实现6英寸和4英寸的通线。

此外，未来化合物半导体市场空间巨大，且保持高速增长势头。依托于5G通信、智能汽车、清洁能源、物联网、智能制造等战略性新兴产业需求为牵引，九峰山实验室将进一步推动化合物半导体产业发展。

“我们希望不仅能够在技术上指引未来方向，最关键是把这个产业和基础研究也能拉动起来，这是九峰山实验室的设想和努力目标。”赵勇说。

赵勇表示，九峰山实验室希望打造一个开放共享的平台和一片培育创新的沃土，打造量产级研发平台。目前的三条中试产线，具备小批量生产能力。三条产线不仅可以提供给高校师生用于科研，很多国产设备、材料厂商也可以在产线上试用，也可以支持芯片设计厂商流片。

“不少高校和企业其实有很多创新的想法，但苦于没有开放平台能够使用。而九峰山实验室的这三条线，为这些知识产权转化成产值提供了条件和可能。”赵勇说。

赵勇认为，九峰山实验室在化合物半导体方面具有几方面的优势：

首先，品类最全。包括磷化铟、碳化硅、氮化镓以及金刚石、氧化镓等都在积极布局，包括从设备到材料方面的研发和人才投入。其次，从4英寸、6英寸到8英寸，设备最为齐全。第三，武汉本身具有半导体产业的基础，有包括面板、存储领域的龙头企业带动，同时武汉高校众多，有科研人才的保证，加之武汉市政府、高新区管委会一直以来的重视和支持，这些都成为九峰山实验室发力化合物半导体，争做“灯塔”的底气。